[实用新型]CO2激光器的非平面镜调节装置有效
申请号: | 201520367287.1 | 申请日: | 2015-06-01 |
公开(公告)号: | CN204793604U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 王占锋;刘昌军;周桂兵;陈根余;陈燚;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | H01S3/08 | 分类号: | H01S3/08 |
代理公司: | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | co2 激光器 平面镜 调节 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于CO2激光器制造领域,尤其涉及一种CO2激光器的非平面镜调节装置。
背景技术
高功率轴快流CO2激光器诞生以来,以转换效率高,输出模式好,性能稳定,较横流CO2激光器体积小等优势在工业生产中得到广泛应用,随着应用范围的逐步扩展,对输出功率的要求也在不断的提升,从最初的1KW轴快流激光器到目前的5KW、8KW、10KW、甚至更高的激光器都有需求。
对于CO2激光器来说,影响激光器功率模式稳定性的一个重要方面就是谐振腔上镜片的调节结构的稳定性。镜片调节结构的不稳定会直接导致激光器模式变化,功率变化,指向变化,甚至无法使用。
如图1所示,普通前尾镜调节装置,虽然调节精度较高,但不稳定因素太多。首先球面垫10和调节架锥面孔20采用的轴线外定位,使镜片中心不能很好地固定在轴线上;而调节螺纹副30、40、50之间采用螺牙差的形式提高精度,但是单个调节点就有6副螺纹要加工,累积误差会制成其定位精度不高,这就使得两个调节点之间以及其对定位点之间产生应力,致使镜片中心不能定位到光轴轴线上。如果是平面镜,其影响不大;但是CO2激光器一般都采用稳定腔,凹面镜就必不可少,这样一来,在装配过程中有可能发现调节螺纹组摇摆,装配不到位,或装到位后调节螺纹间有应力,螺纹松紧不一致等情况;在调试过程中会发现两组调节螺纹之间相互影响,难以调出理想模式,即使调出来,由于其内在的应力,经过老化,开关机测试后,模式也会发生变化,再加上运输震动,模式的变化更大。
实用新型内容
本实用新型实施例的目的在于提供一种CO2激光器的非平面镜调节装置,以解决现有镜片调节结构不稳定而导致激光器模式变化的问题。
本实用新型实施例是这样实现的,一种CO2激光器的非平面镜调节装置,其特征在于,包括调节座和调节架,所述调节架上设有带有第一通孔的弧形部,所述第一通孔贯穿整个调节架;所述调节座上设有第二通孔,所述弧形部适配的收容于所述第二通孔内;所述弧形部与所述调节座的接触点构成一个球形结构;所述调节座和所述调节架通过压缩螺杆固定连接;
其中,所述调节架上还设有与所述第一通孔同轴的镜片座,所述镜片座内安装有镜片,所述镜片靠近所述弧形部一侧表面的中心与所述球形结构的球心重合。
进一步地,所述调节架延所述第一通孔远离所述弧形部的方向上设置有调节部,所述调节部收容于所述第二通孔内,所述调节座上横向对称设置有调节螺钉,所述调节螺钉与所述调节部的外壁相互抵持。
进一步地,所述调节螺钉为4个,分别均匀的绕调节座设置。
进一步地,所述调节螺钉与所述调节部之间设有滚珠。
进一步地,所述调节部与所述调节座之间设有密封装置。
进一步地,所述密封装置为O型密封圈,所述O型密封圈有个,分别延第一通孔方向设置。
进一步地,压缩螺杆与所述调节架之间设有蝶形弹簧组件。
进一步地,所述密封装置为O型密封圈,所述O型密封圈有2个,分别延第一通孔方向设置。
本实用新型实施例提供的CO2激光器的非平面镜调节装置,采用激光轴线内定位,并利用球面结构定位激光的表面中心,使得激光靠近弧形部一侧的表面中心在调节过程中始终位于激光光轴G上,在利用调节部与调节座之间的O型密封圈做同轴导向,固定反射方向,调节螺钉实现加工误差的校正与固定,解决了现有的结构在装配、调试、老化、开关机测试以及运输过程中产生的偏差,实现了激光功率的稳定。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是现有技术中镜片调节装置的立体图;
图2是本实用新型实施例提供的CO2激光器的非平面镜调节装置的剖视图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
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