[实用新型]提高MOCVD外延片波长均匀性的一种石墨盘组件有效
| 申请号： | 201520368560.2 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN204714942U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 孙一军;李鸿渐;李盼盼;赵新印;王明洋;金豫浙;李志聪;王辉;王国宏 | 申请（专利权）人： | 扬州中科半导体照明有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 mocvd 外延 波长 均匀 一种 石墨 组件 | ||
【权利要求书】：
1.提高MOCVD外延片波长均匀性的一种石墨盘组件，包括石墨盘、卫星盘和固定栓，石墨盘上具有与卫星盘配合的大圆柱形凹槽，凹槽底部具有能够使卫星盘旋转的环形线槽，在大圆柱形凹槽的底部中心位置有一个圆柱形上凹槽，在卫星盘的背面中心开设支撑凹槽，在所述上凹槽和支撑凹槽之间设置固定栓，在卫星盘的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：所述固定栓为柱形石墨件，在柱形石墨件表面设置碳化硅涂层。
2.根据权利要求1所述石墨盘组件，其特征在于：所述固定栓的长度为1～20mm。
3.根据权利要求2所述石墨盘组件，其特征在于：所述固定栓的长度为4～16mm。
4.根据权利要求1或2或3所述石墨盘组件，其特征在于：所述固定栓为直径1～50 mm的圆柱体。
5.根据权利要求4所述石墨盘组件，其特征在于：所述圆柱体的直径为5～40。
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