[实用新型]氧化锆超薄片抛光装置

权利要求书

1.一种氧化锆超薄片抛光装置，其特征在于：包括转轴(10)、行星齿轮系(30)、第一研磨盘(40)、第二研磨盘(50)、第一压盘(60)、第二压盘(80)、第一驱动电机、第二驱动电机以及驱动机构(70)，所述行星齿轮系(30)由所述转轴(10)驱动转动，所述第一研磨盘(40)设于靠近所述行星齿轮系(30)的一面并与所述行星齿轮系(30)平行，所述第一压盘(60)与所述第一研磨盘(40)远离所述行星齿轮系(30)的一面连接，所述第二研磨盘(50)与所述行星齿轮系(30)的另一面相接触，所述第二压盘(80)与所述第二研磨盘(50)压紧，所述第一压盘(60)与所述驱动机构(70)连接，所述第一压盘(60)由所述驱动机构(70)带动向靠近或远离所述行星齿轮系(30)的方向移动，所述第一研磨盘(40)、所述第二研磨盘(50)分别由所述第一驱动电机、第二驱动电机驱动向相反方向转动。

2.根据权利要求1所述的氧化锆超薄片抛光装置，其特征在于：所述行星齿轮系(30)包括太阳轮(302)以及行星轮(304)，所述太阳轮(302)的中心圈(306)与所述转轴(10)连接，所述行星轮(304)分别与所述太阳轮(302)的外齿圈(308)以及中心圈(306)啮合连接，所述第二研磨盘(50)与所述行星轮(304)的一面压紧，所述第一研磨盘(40)靠近所述行星轮(304)的另一面设置。

3.根据权利要求2所述的氧化锆超薄片抛光装置，其特征在于：所述行星轮(304)与所述第一研磨盘(40)之间的最大距离为0.2mm。

4.根据权利要求1所述的氧化锆超薄片抛光装置，其特征在于：所述驱动机构(70)为气缸，所述气缸的活塞杆与所述第一压盘(60)垂直连接。

5.根据权利要求4所述的氧化锆超薄片抛光装置，其特征在于：所述气缸的活塞杆上设有压力传感器(702)。