[实用新型]一种离子探针质谱计的监控装置

权利要求书

1.一种离子探针质谱计的监控装置，其特征在于，包括：数据采集器、故障比较器、监控终端；

所述数据采集器与离子探针质谱计相连，所述故障比较器与所述数据采集器相连，所述监控终端与所述故障比较器相连；

所述数据采集器，用于采集所述离子探针质谱计的运行状态的数据；

所述故障比较器，用于将所述数据采集器采集的所述离子探针质谱计的运行状态的数据与预存储的所述离子探针质谱计的运行状态的数据进行比较，并将比较结果发送所述监控终端；

所述监控终端，用于查看所述比较结果。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括故障报警器，所述故障报警器与所述故障比较器相连，用于在所述比较结果为所述离子探针质谱计存在故障时，进行报警。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述故障报警器以声音或者灯光闪烁的形式进行报警。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述故障比较器在所述比较结果为所述离子探针质谱计存在故障时，以邮件和/或短信的形式向管理者发送所述离子探针质谱计的故障信息。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述监控终端，还用于存储所述比较结果。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：氧源控制器；

所述氧源控制器与所述离子探针质谱计相连，用于对进入所述离子探针质谱计的氧气流量进行控制。