[实用新型]一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置

权利要求书

1.一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，其特征是，包括小型化高灵敏 度扫描探针显微镜（1）、低温恒温腔（2）、低温制冷装置，所述小型化高灵敏度扫描探针显微 镜（1）置于低温恒温腔（2）内，低温恒温腔（2）与低温制冷装置直接相连，样品（4）安装在小 型化高灵敏度扫描探针显微镜（1）上。

2.根据权利要求1所述的一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，其特征 是，所述小型化高灵敏度扫描探针显微镜（1），包括压电陶瓷扫描管（11）、压电陶瓷马达 （12）、探针（13），探针（13）安装在压电陶瓷扫描管（11）端部，压电陶瓷扫描管（11）由压电陶 瓷马达（12）驱动。

3.根据权利要求2所述的一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，其特征 是，所述压电陶瓷马达（12）为惯性驱动压电陶瓷马达，所述探针（13）为音叉原子力探针。

4.根据权利要求1所述的一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，其特征 是，所述低温恒温腔（2）由微型加热装置（21）、外层热屏蔽罩（22）、内层热屏蔽罩（23）、低温 减震弹簧（24）、和小型化高灵敏度扫描探针显微镜放置腔（25）组成，所述低温恒温腔（2）为 全封闭的金属腔，上表面为与低温制冷装置接触的微型加热装置（21），外层热屏蔽罩（22）、 内层热屏蔽罩（23）构成双层热屏蔽层，低温减震弹簧（24）置于内层热屏蔽罩（23）与小型化 高灵敏度扫描探针显微镜（1）的上顶面之间。

5.根据权利要求4所述的一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，其特征 是，所述外层热屏蔽罩（22）、内层热屏蔽罩（23）由无氧铜制成，所述外层热屏蔽罩（22）的外 表面镀金。

6.根据权利要求4所述的一种将样品在低温下进行扫描探针显微测量的装置，其特征 是，所述低温制冷装置为低温液氮/液氦杜瓦，可以是开循环的连续冷气流制冷或是闭循环 的液池形式的制冷。