[实用新型]化学品供应系统有效

专利信息
申请号: 201520373372.9 申请日: 2015-06-02
公开(公告)号: CN204678062U 公开(公告)日: 2015-09-30
发明(设计)人: 张文武;丁秀萍;王强;刁春华;周鹏 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: F17D1/14 分类号: F17D1/14;F17D3/01
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 余明伟
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 化学品 供应 系统
【权利要求书】:

1.一种化学品供应系统,其特征在于,至少包括:原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、主供液管道、备用供液管道;其中

所述补酸过滤器及所述供应过滤器均包括进口端及出口端;

所述主供液管道将所述原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器依次连接;所述备用供液管道一端与所述补酸过滤器的出口端相连接,另一端与所述供应过滤器的进口端相连接;

所述第一气动阀位于所述原液桶与所述补酸泵之间的所述主供液管道上;所述第二气动阀位于所述补酸过滤器与所述供应槽之间的所述主供液管道上;所述第三气动阀位于所述供应槽与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上;所述第四气动阀位于所述供应过滤器出口端的所述主供液管道上;所述第五气动阀位于所述备用供液管道上。

2.根据权利要求1所述的化学品供应系统,其特征在于:所述化学品供应系统还包括手动阀,所述手动阀位于所述供应泵与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上。

3.根据权利要求1所述的化学品供应系统,其特征在于:所述化学品供应系统还包括液位侦测器,位于所述供应槽内。

4.根据权利要求1所述的化学品供应系统,其特征在于:所述化学品供应系统还包括补酸压力侦测器及供应压力侦测器;所述补酸压力侦测器位于靠近所述补酸过滤器出口端的所述主供液管道上,所述供应压力侦测器为两个,分别位于所述供应过滤器两侧的所述主供液管道上。

5.根据权利要求1所述的化学品供应系统,其特征在于:所述补酸泵及所述供应泵均为多个,每个所述补酸泵及所述供应泵均独立地连接于所述主供液管道上。

6.根据权利要求5所述的化学品供应系统,其特征在于:所述补酸泵及所述供应泵均为两个。

7.根据权利要求1所述的化学品供应系统,其特征在于,所述第三气动阀位于所述供应槽与所述供应泵之间及所述供应泵与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的化学品供应系统,其特征在于,所述化学品供应系统还包括:回流管道及第六气动阀;

所述回流管道的一端与所述补酸过滤器的出口端相连接,另一端与所述原液桶相连接;

所述第六气动阀位于所述回流管道上。

9.根据权利要求8所述的化学品供应系统,其特征在于:所述化学品供应系统还包括气液分离器,所述气液分离器位于所述补酸泵与所述补酸过滤器之间的所述主供液管道上。

10.根据权利要求9所述的化学品供应系统,其特征在于:所述化学品供应系统还包括可编程逻辑控制器,补酸泵、供应泵、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、第六气动阀、液位侦测器、补酸压力侦测器、供应压力侦测器及气液分离器均与所述可编程逻辑控制器电连接。

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