[实用新型]多台离子反应镀膜机的液位联机自动控制装置有效
申请号: | 201520375735.2 | 申请日: | 2015-06-03 |
公开(公告)号: | CN204650297U | 公开(公告)日: | 2015-09-16 |
发明(设计)人: | 张德友 | 申请(专利权)人: | 东莞市明谷一纳米材料有限公司 |
主分类号: | G05D9/12 | 分类号: | G05D9/12 |
代理公司: | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人: | 吴炳贤 |
地址: | 523000 广东省东莞市谢岗镇大龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离子 反应 镀膜 联机 自动控制 装置 | ||
1.一种多台离子反应镀膜机的液位联机自动控制装置,包括第一储液槽和第二储液槽,其特征在于,所述第一储液槽和第二储液槽的底部通过连通管道连通,所述第一储液槽通过液体回流管道与离子反应镀膜机的出液口连通,所述第二储液槽通过进液管道与离子反应镀膜机的进液口连通,在所述进液管道上设有具有耐腐蚀作用的耐腐蚀过滤机。
2.根据权利要求1所述的多台离子反应镀膜机的液位联机自动控制装置,其特征在于,在所述第一储液槽上设有控制液位的浮球阀。
3.根据权利要求1所述的多台离子反应镀膜机的液位联机自动控制装置,其特征在于,所述第一储液槽和第二储液槽的安装高度相同。
4.根据权利要求1所述的多台离子反应镀膜机的液位联机自动控制装置,其特征在于,所述进液管道与所述第二储液槽的连接处设有耐腐蚀作用的进液口。
5.根据权利要求1所述的多台离子反应镀膜机的液位联机自动控制装置,其特征在于,当所述第一储液槽的液位高于所述第二储液槽的液位时,所述第一储液槽的液体通过连通管道流入所述第二储液槽内。
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