[实用新型]一种蚀刻装置

权利要求书

1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括第一集液槽、第二集液槽，所述的第一集液槽分别与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽连通；所述的第二集液槽分别与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽连通；所述第一集液槽内设有可将第一集液槽内蚀刻液输送至其中一蚀刻槽的第一泵，所述第二集液槽内设有可将第二集液槽内蚀刻液输送至另一蚀刻槽的第二泵。

2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的第一集液槽与第二集液槽之间设有连通管。

3.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，还包括蚀刻液补充装置，所述的蚀刻液补充装置设有连通第一集液槽和/或第二集液槽的输液管，输液管上设有控制阀。

4.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的第一集液槽与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽之间设有第一出液管、第一回流管，所述的第一出液管连通第一泵和第二蚀刻槽，第一回流管连通第一集液槽和第一蚀刻槽；所述的第二集液槽与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽之间设有第二出液管、第二回流管，所述的第二出液管连通第二泵和第一蚀刻槽，第二回流管连通第二集液槽和第二蚀刻槽。

5.根据权利要求4所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的第一蚀刻槽设有喷淋蚀刻液的第一喷淋装置，第一喷淋装置连接第二出液管；所述的第二蚀刻槽设有喷淋蚀刻液的第二喷淋装置，第二喷淋装置连接第一出液管。

6.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的第一集液槽与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽之间设有第一出液管、第一回流管，所述的第一出液管连通第一泵和第一蚀刻槽，第一回流管连通第一集液槽和第二蚀刻槽；所述的第二集液槽与第一蚀刻槽、第二蚀刻槽之间设有第二出液管、第二回流管，所述的第二出液管连通第二泵和第二蚀刻槽，第二回流管连通第二集液槽和第一蚀刻槽。

7.根据权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，所述的第一蚀刻槽设有喷淋蚀刻液的第一喷淋装置，第一喷淋装置连接第一出液管；所述的第二蚀刻槽设有喷淋蚀刻液的第二喷淋装置，第二喷淋装置连接第二出液管。