[实用新型]高真空挡板阀

说明书

技术领域

本发明属于真空设备的部件，特别涉及一种真空泵上使用的高真空挡板阀。

背景技术

目前高真空设备的挡板阀有两种形式，一种为直板式，另一种是插板式。直板式的工作特点是真空泵在气缸下面，当断开时，与真空室隔绝，当工作时，挡板上升到中间位置，挡板处在管道中间，这样就使气体流导受阻，且在真空镀膜过程中，有可能会飘上薄膜，影响其正常工作。第二种插板式阀门，它的特点是工作时完全开放和关闭，在多次使用后，下端会存留灰尘，在关闭时就会产生漏气，影响密封性，降低了泵的效率。

发明内容

本发明的目的在于克服上述技术不足，一种可以提高抽气效率，并且密封性好的高真空挡板阀。

本发明解决技术问题所采用的技术方案是：一种高真空挡板阀，包括分子泵，真空设备管壁，高真空挡板阀阀身和节流阀，在真空设备管壁的上平面用螺栓固定一个真空阀支架，真空阀支架的两侧固定有滑道，上面用螺栓固定一个高真空挡板阀阀身，高真空挡板阀阀身的阀杆与主轴连接，主轴与螺母螺纹连接，螺母上装一个连接横轴，连接横轴两端装有径向轴承，径向轴承活动地装在滑道中，主轴活动的穿过连接横轴中间设的孔，主轴下端绞连接一个垂直连杆，垂直连杆下端固定一个180°固定绞座，180°固定绞座固定在挡板的中心；在挡板的上面用沉头把紧螺钉固定两个90°固定绞座，90°固定绞座上设有长条孔；在90°固定绞座上活动地装有支撑连杆，支撑连杆上装有水平控位螺钉。

本发明的有益效果是：该发明密封性能好，抽气效率高，具有高的气流传导性，开关阀稳定，振动小，维修方便，可间接水冷，耐高温。

附图说明

以下结合附图以实施例具体说明。

图1是高真空挡板阀的主视图；

图2是图1的局部剖视图。

图中：1-真空设备抽气口；2-节流阀；3-真空设备管道壁；4-紧定螺钉；5-密封板；6-分子泵；7-密封胶圈；8-挡板；9-水平控位螺钉；10-支撑连杆；11-沉头把紧螺钉；12-90°固定绞座；13-180°固定绞座；14-垂直连杆；15-径向轴承；16-连接横轴；17-滑道；18-螺母；19-主轴；20-胶圈；21-进气孔；22-高真空挡板阀阀身；23-出气孔；24-长条孔；25-真空阀支架；26-真空室。

具体实施方式

具体实施例，参上附图，一种高真空挡板阀，包括分子泵6、真空设备管壁3，高真空挡板阀阀身22和节流阀2，其特征在于，在真空设备管壁3的上平面用螺栓固定一个真空阀支架25，真空阀支架25的两侧固定有滑道17，上面用螺栓固定一个高真空挡板阀阀身22，高真空挡板阀阀身22的阀杆与主轴19连接，主轴19与螺母18螺纹连接，螺母18上装一个连接横轴16，连接横轴16两端装有径向轴承15，径向轴承15活动地装在滑道17中，主轴19活动的穿过连接横轴16中间设的孔，主轴下端绞连接一个垂直连杆14，垂直连杆14下端固定一个180°固定绞座13，180°固定绞座13固定在挡板8的中心；在挡板8的上面用沉头把紧螺钉11固定两个90°固定绞座12，90°固定绞座12上设有长条孔24；12上活动地装有支撑连杆10，支撑连杆10上装有水平控位螺钉9。高真空阀22上端设有出气孔23，下端设有进气孔21；主轴19与真空阀支架25之间装有胶圈20；在真空设备管壁上装有节流阀2，密封板5用紧固螺钉4固定在真空设备管道壁3上，挡板8与密封板5之间装有密封胶圈7。工作时控制高真空挡板阀阀身22的进气孔21和出气孔22即可，操作方便。