[实用新型]一种含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器

权利要求书

1.一种含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：包括NiFe线、NiFe线引线焊盘、Cu导线和Cu导线引线焊盘；所述NiFe线由上层NiFe线和下层NiFe线两部分构成；所述上层NiFe线和下层NiFe线采用电镀Ni81Fe19合金；所述NiFe线引线焊盘包括上层NiFe线引线焊盘和下层NiFe线引线焊盘；上层NiFe线位于Cu导线的上面；下层NiFe线位于Cu导线的下面；上层NiFe线和下层NiFe线为不同的排布方向；上层NiFe线和下层NiFe线在首尾处依次交替相连；上层NiFe线由上层NiFe线引线焊盘引出；下层NiFe线由下层NiFe线引线焊盘引出；上层NiFe线与下层NiFe线将Cu导线包围在中间，Cu导线由两端的Cu导线引线焊盘引出。

2.如权利要求1所述的含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：采用电镀Ni81Fe19合金的上层NiFe线和下层NiFe线宽度均为50μm，厚度均为1μm。

3.如权利要求1所述的含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：NiFe线与Cu导线之间没有绝缘层和保护层。

4.如权利要求1所述的含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：上层NiFe线为逆时针方向旋转，下层NiFe线为顺时针方向旋转，它们具有相同的旋转角度。

5.如权利要求4所述的含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：上层NiFe线沿逆时针旋转角度为15°、30°、45°或60°四种方式；下层NiFe线沿顺时针旋转角度为-15°、-30°、-45°或-60°四种方式。

6.如权利要求5所述的含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：所述上层NiFe线沿逆时针旋转角度为15°、30°、45°或60°四种方式时分别对应的上层NiFe线长度为580μm、302μm、221μm或260μm；所述四种旋转角度分别对应的上层NiFe线间距为760μm、373μm、240μm或173μm；所述四种旋转角度分别对应的上层NiFe线匝数为7匝、13匝、21匝或29匝。

7.如权利要求5所述的含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：所述下层NiFe线沿顺时针旋转角度为-15°、-30°、-45°或-60°四种方式时分别对应的下层NiFe线长度为580μm、302μm、221μm或260μm；所述四种旋转角度分别对应的下层NiFe线间距为760μm、373μm、240μm或173μm，所述四种旋转角度分别对应的下层NiFe线匝数为7匝、13匝、21匝或29匝。

8.如权利要求1至7任一所述的含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器，其特征在于：含有镍铁线的微型无线圈磁通门传感器位于衬底上，衬底是带有SiO2绝缘层的Si衬底。