[实用新型]掩膜装置及掩膜板冷却系统

权利要求书

1.一种掩膜装置，其特征在于，所述掩膜装置包括掩膜板，所述掩膜板的表面开设有第一槽，所述第一槽沿着所述掩膜板的表面延伸至所述掩膜板的边缘，且所述第一槽中铺设有导热层，所述导热层的厚度和所述第一槽的深度相等。

2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，还包括掩膜框架，所述掩膜框架的第一表面开设有第二槽，所述掩膜板放置在所述第二槽中。

3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述第二槽的深度和所述掩膜板的厚度相等。

4.根据权利要求3所述的掩膜装置，其特征在于，所述掩膜框架的第一表面上开设有第三槽，所述第三槽和所述第一槽连通，所述掩膜框架的侧面上开设有第四槽，所述第四槽和所述第三槽连通，所述掩膜框架的第二表面上开设有第五槽，所述第五槽与所述第四槽连通，所述第二表面和所述第一表面相对，且所述第三槽、所述第四槽以及所述第五槽中均铺设有所述导热层。

5.根据权利要求4所述的掩膜装置，其特征在于，所述第一槽的深度、所述第三槽的深度、所述第四槽的深度以及所述第五槽的深度均相等。

6.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述导热层为铜层。

7.一种掩膜板冷却系统，其特征在于，包括冷却装置和权利要求1-6中任一项所述的掩膜装置，所述掩膜装置和所述冷却装置连接。