[实用新型]干涉测量仪中的准直系统有效
| 申请号： | 201520388462.5 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204807038U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈小梅 | 申请（专利权）人： | 陈小梅 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350206 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干涉 测量仪 中的 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种干涉测量仪中的准直系统，其特征在于：干涉测量仪中的准直系统由激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜(6)和CCD(7)构成，按照光路方向依次设置激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)和干涉腔(4)，在分光棱镜(2)与激光光源(1)发射激光方向垂直的方向设置有准直镜(5)和CCD(7)。
2.根据权利要求1所述的干涉测量仪中的准直系统，其特征在于：所述耦合系统(3)由多个透镜构成。
3.根据权利要求1所述的干涉测量仪中的准直系统，其特征在于：所述激光光源(1)为单色光源。
4.根据权利要求1所述的干涉测量仪中的准直系统，其特征在于：所述干涉腔(4)由参考镜和被测镜构成。
5.根据权利要求1所述的干涉测量仪中的准直系统，其特征在于：所述成像透镜(6)设置在准直镜(5)和CCD(7)之间。
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