[实用新型]一种多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试装置

权利要求书

1.一种多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试装置，其特征在于：包括多发光单元半导体激光器，快轴准直镜，分光镜，成像系统，图像传感器M，图像传感器N，工控机，自动调节架；所述的快轴准直镜固定在自动调节架上并设置在多发光单元半导体激光器的出光方向；所述的分光镜设置在快轴准直镜的后端，将多发光单元半导体激光器经快轴准直镜准直后的光束进行分光，形成光束B和参考光束A；所述的图像传感器M与工控机进行连接并设置在参考光束A出射方向用于采集参考光束A的图样；所述的成像系统设置在光束B的出射方向用于对光束B 进行成像，图像传感器N与工控机进行连接并设置在成像系统后端用于采集光束B的图样；所述的工控机用于控制图像传感器M，图像传感器N并控制自动调节架。

2.根据权利要求1所述的一种多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试装置，其特征在于：所述的图像传感器M为电荷耦合器件或者互补性金属氧化物半导体传感器；所述的图像传感器N为电荷耦合器件或者互补性金属氧化物半导体传感器。

3.根据权利要求1所述的一种多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试装置，其特征在于:还包括反射镜 ，所述的反射镜设置在参考光束A的出射方向用于将参考光束A的发射光方向旋转90度后入射至图像传感器M；或者所述的反射镜设置在光束B的出射方向的发射光方向旋转90度后入射至成像系统。