[实用新型]一种蓝宝石晶体导模法生长装置有效
| 申请号： | 201520391034.8 | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN204849117U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 薛卫明;马远;吴勇;周健杰 | 申请（专利权）人： | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶体 导模法 生长 装置 | ||
1.一种蓝宝石晶体导模法生长装置，包括晶体生长炉以及安装在炉内的坩埚、模具、吊盘以及安装在吊盘上端面的吊杆，所述模具的下端浸渍在坩埚内的氧化铝熔液中，其上端端部安装在吊盘中心并由吊杆带动其上下移动；
其特征在于：所述吊杆上还安装一气体冷却盘，该气体冷却盘水平设置在吊盘的上方。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体导模法生长装置，其特征在于：所述气体冷却盘为一中空柱体，其中心为一供籽晶下降引晶或晶体生长的引晶通道，其内侧壁具有若干层沿轴向均匀分布的冷却片；所述每层冷却片呈环状，其中空设置并形成一供冷却气体通入的环状空腔；所述气体冷却盘两侧具有一对称设置并沿轴向延伸的进气通道和出气通道，所述进气通道的顶部为一总进气口，其下端开有若干与环状空腔连通的支进气口，所述出气通道的顶部为一总出气口，其下端开有若干与环状空腔连通的支出气口。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶体导模法生长装置，其特征在于：所述气体冷却盘为回转体结构，该气体冷却盘与模具同轴设置。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶体导模法生长装置，其特征在于：所述气体冷却盘为六角形环状。
5.根据权利要求2所述的蓝宝石晶体导模法生长装置，其特征在于：所述进气通道的进气口和出气通道的出气口均通过螺纹方式与供气管连接。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体导模法生长装置，其特征在于：所述气体冷却盘为W/Mo金属盘。
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