[实用新型]压电力显微镜探针有效
| 申请号： | 201520391892.2 | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN204989226U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 薄惠丰;胡鸿奎;张占新;魏环 | 申请（专利权）人： | 华北理工大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人： | 明淑娟 |
| 地址： | 063000 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 显微镜 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电力显微镜探针，包括悬臂板，探针，其特征在于：悬臂板前端连接纵板，悬臂板与纵板连接构成T型结构，纵板上装有探针。
2.根据权利要求1所述的压电力显微镜探针，其特征在于：探针呈四棱锥体结构；四棱锥体结构的中心线与纵板的下平面相垂直设置。
3.根据权利要求1所述的压电力显微镜探针，其特征在于：纵板与悬臂板的厚度相同并且两者的底面位于同一水平面上。
4.根据权利要求1所述的压电力显微镜探针，其特征在于：纵板与悬臂板、以及探针的所有平面分别涂覆有铂金涂层。
5.根据权利要求1所述的压电力显微镜探针，其特征在于：纵板置于悬臂板的对称中心上，纵板相对于悬臂板呈悬臂状态的左、右部位分别呈长方体结构。
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