[实用新型]一种简易型散射光光角器有效

专利信息
申请号: 201520393951.X 申请日: 2015-06-08
公开(公告)号: CN204757941U 公开(公告)日: 2015-11-11
发明(设计)人: 盛云琳;危银长 申请(专利权)人: 志圣科技(广州)有限公司
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 代理人: 任琳
地址: 510850 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 简易 散射 光光
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种简易型散射光光角器,尤其涉及一种应用于曝光机的简易型散射光光角器。

背景技术

角度测量是几何量计量技术的重要组成部分,发展较为完备,各种测量手段的综合运用使测量准确度达到了很高的水平。角度测量技术可以分为静态测量和动态测量两种。对于静态测量技术来说,目前的主要任务集中在如何提高测量精度和测量分辨力上。

测角技术中研究最早的是机械式和电磁式测角技术,如多齿分度台和圆磁栅等,这些方法的主要缺点大多为手工测量,不容易实现自动化,测量精度受到限制。光学测角方法由于具有非接触、高准确度和高灵敏度的特点而倍受人们的重视,尤其是稳定的激光光源的发展使工业现场测量成为可能,因此使光学测角法的应用越来越广泛,各种新的光学测角方法也应运而生。目前,光学测角法除众所周知的光学分度头法和多面棱体法外,常用的还有光电编码器法、衍射法、自准直法,光纤法、声光调制法、圆光栅法、光学内反射法、激光干涉法、平行干涉图法以及环形激光法等。这些方法中的很多方法在小角度的精密测量中已经得到了成功的应用,并得到了较高的测量精度和测量灵敏度,通过适当的改进还可对360度整周角度进行测量。

对于曝光机类的光角度测量也用到上述测量技术,但是传统的应用于曝光机类的平行光/散射光的光角测量结构较为复杂,不利于机台的优化。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种简易型散射光光角器,结构简单,通过对光角的成像、取像,记录曝光机类平行光/散射光的平行光角和倾斜角,为机台测试提供数据和依据,便于机台的优化。

为实现上述目的,本实用新型提供一种简易型散射光光角器,包括光角成像结构,所述光角成像结构是一侧设有小孔的箱体,所述箱体的与小孔相对的内壁设斜板,所述斜板的斜面朝向箱体内的底壁,所述箱体内的底壁上设有光斑显示纸,还包括用于对光斑显示纸上的光斑进行拍照、取像的光角取像结构,所述光角取像结构设有对应伸入小孔内的镜头,且所述光角取像结构与光角成像结构相互连接。

作为本实用新型的进一步改进,所述光角取像结构为相机,所述相机连接有电子快门线。

作为本实用新型的更进一步改进,所述箱体的设有小孔的侧壁的下部外侧设有相机支架,所述相机安装在相机支架上。

作为本实用新型的更进一步改进,所述相机支架是由固定部和垂直固定部的支撑部构成的L型支架,所述相机通过螺栓安装固定在支撑部上,所述固定部固定在箱体上。

与现有技术相比,本实用新型的简易型散射光光角器的有益效果如下:

(1)结构简单,制造成本低廉。

(2)采用小孔成像原理,通过光角取像结构对光角成像结构内的光斑进行拍照、取像,从而可以记录曝光机类平行光/散射光的平行光角和倾斜角,为机台测试提供数据和依据,便于机台的优化。

通过以下的描述并结合附图,本实用新型将变得更加清晰,这些附图用于解释本实用新型的实施例。

附图说明

图1为本实用新型中的简易型散射光光角器的示意图。

具体实施方式

现在参考附图描述本实用新型的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。

请参考图1,所述的简易型散射光光角器包括光角成像结构1和光角取像结构2。所述光角成像结构1是一侧设有小孔11的箱体,所述箱体的与小孔11相对的内壁设斜板12,所述斜板12的斜面朝向箱体内的底壁,所述箱体内的底壁上设有光斑显示纸13。所述箱体的设有小孔11的侧壁的下部外侧设有相机支架14,所述相机支架14是由固定部141和垂直固定部141的支撑部142构成的L型支架,所述固定部141固定在箱体上。

所述光角取像结构2用于对光斑显示纸上的光斑进行拍照、取像,所述光角取像结构2设有对应伸入小孔内的镜头21,且所述光角取像结构2与光角成像结构1相互连接。所述光角取像结构2为相机,所述相机连接有电子快门线(图中未示出)。所述相机通过螺栓安装固定在相机支架14的支撑部142上。

使用时,利用小孔11的成像原理,将射入小孔内的光线,显示在光斑显示纸13上,将光角取像结构2的镜头21伸入小孔11内,通过操作电子快门线控制相机对显示在光斑显示纸13上的光斑进行拍照、取像,从而可以记录曝光机类平行光/散射光的平行光角和倾斜角,为机台测试提供数据和依据,便于机台的优化。

以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述,但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例,而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。

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