[实用新型]清洗花篮

说明书

技术领域

本实用新型涉及LED加工领域，尤其是涉及一种清洗花篮。

背景技术

发光二极管简称为LED。由含镓(Ga)、砷(As)、磷(P)、氮(N)等的化合物制成。当电子与空穴复合时能辐射出可见光，因而可以用来制成发光二极管。LED在电路及仪器中作为指示灯，或者组成文字或数字显示。砷化镓二极管发红光，磷化镓二极管发绿光，碳化硅二极管发黄光，氮化镓二极管发蓝光。因化学性质又分有机发光二极管OLED和无机发光二极管LED。

在制造LED的过程中，常常需要使用外延片和芯片，其中，芯片指内含集成电路的硅片，体积很小。芯片是LED的重要组成部分。

外延是半导体工艺当中的一种。在两极(bipolar)工艺中，硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层)；然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层；再后来在外延层上注入基区、发射区等等。最后基本形成纵向NPN管结构：外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区。外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。因有些厂只做外延之后的工艺生产，所以他们买别人做好外延工艺的外延片来接着做后续工艺。

在LED加工行业，常常需要使用芯片和外延片，芯片和外延片的清洁程度会影响所制作硅片产品的质量，芯片和外延片使用前通常需要进行腐蚀、清洗等前序工艺的处理。其中，清洗工艺的主要作用包括：获得洁净的表面(如去除附着在芯片和外延片表面的原子、离子、分子、有机沾污或者颗粒)、晶片抛光和晶片定向腐蚀。芯片和外延片在清洗过程中，晶片表面的溶液浓度不断降低，反映速率将逐渐下降，从而严重影响清洗工艺的质量。为了确保清洗的质量，需要使反应池中的清洗液不断流动的状态，从而带动芯片或外延片表面清洗液的流动，补充反应液浓度的消耗，获得一致的反应过程。

芯片和外延片被清洗干净之后，进入烘箱中进行烘干处理。

现有技术中的清洗花篮通常采用塑料制成，其中，花篮的提手和花篮的侧壁是卡和连接的，由于塑料产品有一定的弹性，故这种清洗花篮在使用一段时间后会出现提手无法挂紧花篮的侧壁的现象，提手与花篮的侧壁容易脱落，使用安全性低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种清洗花篮，以解决现有技术中的花篮存在的提手与花篮的侧壁容易脱落的技术问题。

本实用新型提供的清洗花篮，包括提手、底壁以及与所述底壁连接的侧壁，所述侧壁上设有多个卡槽，所述提手固定设置在所述侧壁上。

进一步地，所述提手与所述侧壁通过螺栓或者螺丝固定连接。

进一步地，所述提手与所述侧壁一体连接。也就是说，侧壁与提手在制造该清洗花篮的过程中是一体成型的，这种方式的提手与侧壁之间的连接更牢固，不会出现提手与侧壁脱落的现象，保证了使用安全性以及清洗效率。

进一步地，相邻两个所述卡槽之间的间距相等。这种方式使得相邻两个待清洗的硅片、芯片、玻璃板(例如光刻玻璃板)或者外延片之间有均匀充分的清洗液，保证硅片、芯片、玻璃板或者外延片能够被清洗干净。

进一步地，所述卡槽的宽度为1.8mm-2.3mm。这种宽度的卡槽使得厚度为1.8mm-2.3mm的非标准规格的芯片、外延片、玻璃板、硅片等都能够采用本实施例提供的清洗花篮来清洗。

进一步地，所述清洗花篮采用聚四氟乙烯制成，制成的清洗花篮还能够在强酸强碱和高温等恶劣条件下使用，寿命长。

进一步地，所述清洗花篮包括四个依次连接的侧壁，四个所述侧壁与所述底壁分别连接以围成一端开口的空腔。

进一步地，四个所述侧壁之间通过螺栓或者螺丝固定连接。

进一步地，四个所述侧壁和底壁上分别设有供清洗液流出的多个通孔，使得清洗液能最大限度地与待清洗的玻璃板、芯片、外延片、硅片等接触，并且清洗液能够以最快的速度流出，加快生产过程，提高生产效率。此外，清洗花篮的底壁和侧壁上的多个通孔还能够增大空气流通性，缩短烘干时间，进一步提高生产效率。

进一步地，所述通孔为圆形，所述通孔的直径为10mm-15mm。

在本实用新型提供的清洗花篮中，提手与花篮的侧壁固定连接，在使用的过程中，提手始终能够牢固地挂紧花篮，避免了提手与花篮脱落的现象，使用安全性高。

附图说明