[实用新型]匀胶机排风装置及匀胶机

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别地，涉及一种匀胶机排风装置及匀胶机。

背景技术

匀胶机是一种利用旋转产生的离心力原理，将胶液均匀甩开，平铺到材料表面的机械装置，应用于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或者制造领域。匀胶时，光刻胶的干燥速度不仅取决于光刻胶的自身性质(挥发性)，而且取决于匀胶过程中基片周围的空气状况，因此，减小基片上面空气的流动以及因空气流动引起的紊乱是非常重要的，匀胶过程中，在光刻胶被甩向基片边缘的同时，由于溶剂挥发，光刻胶得以干燥，造成光刻胶膜厚沿径向分布不均匀，而通过调整光刻胶的干燥速度可使整个基片表面光刻胶的膜厚均匀性保持良好。目前匀胶机中的排风装置由于无法调整光刻胶的干燥速度，造成基片表面光刻胶的膜厚均匀性不佳、基片表面变色等缺陷。

实用新型内容

本实用新型提供了一种匀胶机排风装置，以解决现有匀胶机中的排风装置由于无法调整光刻胶的干燥速度，造成基片表面光刻胶的膜厚均匀性不佳、基片表面变色的技术问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种匀胶机排风装置，包括风机、排风管，风机与排风管相连，匀胶机排风装置还包括至少一根软管和至少一个可调节阀门，其中，软管的一端与废胶槽底部相通，软管的另一端通过可调节阀门与排风管相通。

进一步地，软管与排风管之间设有用于收集残胶的废胶箱体，可调节阀门位于软管与废胶箱体的连通处。

进一步地，软管的数量为多根，多根软管共用废胶箱体并经废胶箱体连通排风管，每根软管对应设有可调节阀门。

进一步地，软管的数量为四根，相应地，可调节阀门的数量为四个，且四根软管呈90度直角对称分布在废胶槽底部。

进一步地，废胶箱体为抽屉式箱体。

进一步地，软管与可调节阀门通过扎带连接。

进一步地，软管通过扎带固定在废胶槽底部。

本实用新型另一方面还提供：

一种匀胶机，包括主体机和匀胶台，匀胶台设于主体机的中间位置处，且与主体机内的电动马达连接，用于驱动匀胶台进行旋转，匀胶机还包括如上述任一所述的匀胶机排风装置。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的匀胶机排风装置及匀胶机，通过可调节阀门来控制软管的关闭，从而来控制基片上面空气的流动，以此来调整光刻胶的干燥速度，使基片表面光刻胶的膜厚均匀性更佳，同时基片表面也不会产生变色不良的情况。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型优选实施例的匀胶机排风装置的一侧视图；

图2是本实用新型优选实施例的匀胶机排风装置的另一侧视图；

图3是本实用新型优选实施例的匀胶机排风装置的又一侧视图；

图4是图3中的匀胶机排风装置的俯视图。

附图标记说明：

1：风机；2：排风管；3：软管；4：可调节阀门；5：废胶槽；6：废胶箱体；7：主体机；8：匀胶台。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

参照图1，本实用新型的优选实施例提供了一种匀胶机排风装置，包括风机1、排风管2，至少一根软管3和至少一个可调节阀门4。其中，软管3的一端与废胶槽5底部相通，软管3的另一端通过可调节阀门4与排风管2相通。风机1用于提供动力以将废胶槽5中的气体通过软管3和排风管2抽出至大气中。

本实施例中，通过可调节阀门4调节软管3，以调节从废胶槽5底部排出到排风管2中的风量大小，从而控制基片上面空气的流动，以此来调整光刻胶的干燥速度，使基片表面光刻胶的膜厚均匀性更佳，同时基片表面也不会产生变色不良的情况。

在上述实施例的基础上，参照图2，进一步地，软管3与排风管2之间设有用于收集残胶的废胶箱体6，可调节阀门4位于软管3与废胶箱体6的连通处。

本实施例中，废胶箱体6的设置，可使废胶槽5中的残胶颗粒以及涂胶时产生的飞溅颗粒不会污染排风管2，从而不会使排风管2中聚集的颗粒污染源反过来污染涂胶环境，使基片颗粒不良，并且小块残胶及光刻胶固态颗粒会储存在废胶箱体6中，不会堵塞排风管2。