[实用新型]一种单晶炉有效
申请号: | 201520397561.X | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN204727981U | 公开(公告)日: | 2015-10-28 |
发明(设计)人: | 陈宏彬;张浩强;岳瑞存;张鹏 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉。
背景技术
为了提高生产效率,降低生产成本,以提高企业的竞争能力,适应市场环境,对单晶炉的生产能力进行了提升,就单晶炉主体而言,还有较大的加料空间,但受单晶炉主体上方的圆筒形副室设备结构的影响,制约了投料量的增加,其原因是随着投料量的增加,生产出的单晶硅棒的长度和重量也会随着增加,当单晶硅棒由钢丝绳吊装至圆筒形副室时,产出的单晶硅棒受重力和长度的影响,因容易脱落而产生不安全因素,使得单晶硅棒无法保障安全出炉。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种单晶炉,它具有结构简单、操作安全等特点。本实用新型可以在保障生产安全的情况下,在一定程度上提高生产效率,降低生产成本。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种单晶炉,包括单晶炉主体和位于单晶炉主体上方的圆筒形副室,在圆筒形副室的底部外侧焊接圆环形凸台;在圆环形凸台上设有竖向转轴,还包括单晶硅棒托盘,单晶硅棒托盘包括与圆环形凸台的上台面相适配的圆弧形托板,圆弧形托板端部通过竖向转轴与圆环形凸台铰链,在圆弧形托板的下方设有与其同轴心的圆环形托盘,圆环形托盘的环形面与单晶硅棒的截面相适配,圆弧形托板通过与其外端相连接的连接板与圆环形托盘外端连接。
本实用新型进一步改进在于:
圆弧形托板为半圆弧形托板。
连接板为三个,分别通过圆弧形托板的两端和中部与圆环形托盘焊接。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:
本实用新型通过与圆筒形副室底部凸台铰链的单晶硅棒托盘对长度和重量增加的单晶硅棒起到安全出炉的作用,单晶硅棒在出炉的过程中位于圆筒形副室下方时,单晶硅棒托盘打开,以避免影响单晶硅棒的起吊,当单晶硅棒在出炉的过程中吊至圆筒形副室上方时,单晶硅棒托盘闭合,单晶硅棒坠落时,会由圆环形托盘托住,以避免其脱落所造成的安全事故,与圆环形凸台的上台面相适配的圆弧形托板受圆环形凸台的支撑,增加其当单晶硅棒坠落时所产生的冲击力;圆弧形托板为半圆弧形托板,提高单晶硅棒托盘的承载能力;连接板为三个,分别通过圆弧形托板的两端和中部与圆环形托盘焊接,使圆弧形托板与圆环形托盘连接更加牢固,本实用新型具有结构简单、操作安全等特点。本实用新型可以在保障生产安全的情况下,在一定程度上提高生产效率,降低生产成本。
附图说明
图1是本实用新型工作状态的结构示意图;
图2是本实用新型非工作状态的结构示意图。
在附图中:1、圆筒形副室;2、圆环形凸台;3、竖向转轴;4、半圆弧形托板;5、圆环形托盘;6、连接板。
具体实施方式
下面将结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步详细说明。
由图1-2所述的实施例可知,本实施例包括单晶炉主体和位于单晶炉主体上方的圆筒形副室1,在圆筒形副室1的底部外侧焊接圆环形凸台2;在圆环形凸台2上设有竖向转轴3,还包括单晶硅棒托盘,单晶硅棒托盘包括与圆环形凸台2的上台面相适配的半圆弧形托板4,半圆弧形托板4受圆环形凸台的支撑,增加其当单晶硅棒坠落时所产生的冲击力,半圆弧形托板4端部通过竖向转轴3与圆环形凸台2铰链,在半圆弧形托板4的下方设有与其同轴心的圆环形托盘5,圆环形托盘5的环形面与单晶硅棒的截面相适配,当单晶硅棒坠落时正好被圆环形托盘5托住,半圆弧形托板4通过与其外侧两端和中部相连接的三个连接板6与圆环形托盘5外端焊接。
使用方法:
单晶硅棒在出炉的过程中位于圆筒形副室下方时,单晶硅棒托盘打开,以避免影响单晶硅棒的起吊,当单晶硅棒在出炉的过程中吊至圆筒形副室上方时,单晶硅棒托盘闭合,如果单晶硅棒发生坠落时,会由圆环形托盘托住,以避免其脱落所造成的安全事故。
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