[实用新型]一种考夫曼离子源有效
申请号: | 201520397783.1 | 申请日: | 2015-06-08 |
公开(公告)号: | CN204706535U | 公开(公告)日: | 2015-10-14 |
发明(设计)人: | 乔宪武 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 考夫曼 离子源 | ||
【权利要求书】:
1.一种考夫曼离子源,包括进气孔(1)、阴极(2)和阳极(3),其特征在于:阴极(2)平行于阳极(3)。
2.根据权利要求1所述一种考夫曼离子源,其特征在于:阴极(2)捆绑在平行于阳极的绝缘柱(4)表面。
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