[实用新型]涡轮分子泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种泵，尤其是涉及一种包括涡轮泵(turbopump)部及螺纹槽泵部的涡轮分子泵。

背景技术

例如，在如引用文献1中记载的包括涡轮泵部及螺纹槽泵部的涡轮分子泵中，利用包含涡轮叶片级的涡轮泵部将从吸气口流入的气体分子送到螺纹槽泵部，进而，在真空度更低的一侧利用发挥排气功能的螺纹槽泵部来压缩气体分子。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-95315号公报

发明内容

[实用新型所要解决的问题]

且说，大多情况下螺纹槽泵部的吸气侧开口区域比涡轮泵部的排气侧开口区域小，而且，所述吸气侧开口区域(螺纹槽开口区域)的位置比所述排气侧开口区域靠转子轴侧。所述构造中，由涡轮泵部排出的气体分子无法顺利地流入到螺纹槽中，从而有涡轮泵部与螺纹槽泵部之间的流路中的滞留时间延长的倾向。因此，有如下担心，即，在将容易堆积反应生成物的气体排出的情况下，流路中的反应生成物的堆积变得显著。

[解决问题的技术手段]

本实用新型的优选实施方式的涡轮分子泵包括：涡轮泵部，具有多个固定叶片级与旋转叶片级；螺纹槽泵部，具有圆筒转子及定子，在所述圆筒转子及所述定子的其中一个上形成着螺纹槽；以及流路，将从所述涡轮泵部排出的气体分子向所述螺纹槽泵部引导，所述流路上设置着朝所述圆筒转子方向而向下倾斜的倾斜面。

更优选的实施方式中，面向所述流路的所述定子的壁面为所述倾斜面。

更优选的实施方式中，包括固定着所述定子的底座，面向所述流路的所述底座的壁面为所述倾斜面。

更优选的实施方式中，包括：底座，固定着所述定子；以及环状构件，具有与配置于所述涡轮泵部的最下游侧的旋转叶片的前端相向的面，且固定于所述底座，面向所述流路的所述定子的壁面及面向所述流路的所述环状构件的壁面为所述倾斜面。

[实用新型的效果]

根据本实用新型，在涡轮泵部与螺纹槽泵部之间的流路中，能够顺利地排出气体分子，且能够抑制反应生成物堆积。

附图说明

图1是表示本实用新型的涡轮分子泵的一实施方式的图。

图2是图1的虚线A所示的部分的放大图。

图3(a)、图3(b)是说明定子的上端面的形状与气体分子的散射方向的关系的图。

图4是表示现有的涡轮分子泵的流路的壁面形状的一例的图。

图5是表示本实施方式的第一变形例的图。

图6是表示本实施方式的第二变形例的图。

图7是表示本实施方式的第三变形例的图。

图8是表示氯化铝的蒸气压曲线L1的图。

【主要元件符号说明】

1：泵单元10：转子

11：转子轴12：旋转叶片级

12L：最下级的旋转叶片级13：转子圆筒部

19、29：间隔件20：底座

21：固定叶片级22：定子

22g：螺纹槽部(螺纹槽)23：泵壳体

26：排气管30：罩体

32：径向磁轴承33：轴向磁轴承

34：电动机35a、35b：机械轴承

40：环状构件41：冷却通路

42：加热器200：流路

201、221：上端面201a：双点划线、倾斜面

220：凸缘部401：环状构件的面向流路的面

cosθ：长度G1、G2：气体分子

L1：蒸气压曲线n：法线

P：点R：曲线

SP：螺纹槽泵部TP：涡轮泵部

θ：散射角

具体实施方式

以下，参照图来对用以实施本实用新型的形态进行说明。图1是表示本实用新型的涡轮分子泵的一实施方式的图，且是表示泵单元1的概略构成的剖面图。涡轮分子泵包括图1所示的泵单元1、及驱动泵单元1的控制单元(未图示)。另外，图1所示的涡轮分子泵为磁力悬浮式涡轮分子泵，但本实用新型并不限定于磁力悬浮式涡轮分子泵。