[实用新型]一种不损伤镜片表面的组合式镀膜夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种不损伤镜片表面的组合式镀膜夹具，属于光学技术领域。

背景技术

在光学零件表面镀膜，通常采用底部支撑的夹具，支撑点通常在零件的边缘，在镀膜时零件与夹具接触的位置存在明显的压痕。镀膜时，镜片表面实际薄膜生长区域通常比夹具上的开孔尺寸大，即存在膜料的绕射效应，绕射效应导致薄膜边缘存在明显的不均匀成膜带。镜片在镀膜时，通常需要随着工件盘一起转动以获得更好的均匀性，镜片在随工件盘一起转动时，镜片与夹具之间存在一定的相对运动，这种相对运动必然导致摩擦而损伤基片。镜片的镀膜夹具一般重复使用，夹具的镀膜面膜层在自然脱落之前，需要采用喷砂等手段清洗，在清洗时确保镀膜夹具与镜片接触的表面完好十分困难。在某些特殊领域，如激光谐振腔腔镜，镜片要求在中心某一区域镀膜，其它区域需与激光谐振腔体之间依靠物质之间的范德华力结合的光学胶合而达到密封效果。此时，要求镜片膜层严格限制在镀膜区生长、薄膜边界清晰均匀、不允许绕射至非镀膜的光学胶合区，而且，夹具与镜片接触位置无损伤，不允许影响光学胶合。因此，为满足这些领域的应用要求，避免传统镀膜夹具存在的不足，必须设计专用镀膜夹具。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种不损伤镜片表面的组合式镀膜夹具。该组合式镀膜夹具的优点是加工简单、使用方便、能确保待镀膜镜片两个表面均不被损伤、避免膜料绕射至基片上非镀膜区域、以及夹具使用一段时间后可直接更换掩膜板。

本实用新型的技术方案是：

一种不损伤镜片表面的组合式镀膜夹具，它由基座、掩膜板和止定螺钉组成；所述基座上设置有凹槽，并且还对称地设置有与凹槽相联通的限位槽；所述掩膜板为薄板，其外形是凹槽与限位槽构成的槽腔横截面的形状；限位槽的底部与凹槽的底部在同一平面上，掩膜板放置在该平面上；掩膜板通过限位槽定位；凹槽和掩膜板的中心位置有通孔，该通孔形状与待镀镜片的待镀膜区域相匹配；掩膜板的通孔边缘上有用于放置待镀镜片的凸台；止定螺钉用于将待镀镜片与掩膜板和基座固定。

进一步的技术方案是：

所述的组合式镀膜夹具，其凸台宽度为0.1~ 1mm、高度为0.1~0.5mm。

所述的组合式镀膜夹具，其凹槽底部的厚度为0.5~2mm。

所述的组合式镀膜夹具，其基座上的通孔直径等于待镀镜片镀膜区域的直径，或大于待镀镜片镀膜区域的直径2～4mm。

所述的组合式镀膜夹具，其掩膜板是由镜面抛光的不锈钢薄片制成，粗糙度为0.08~0.32；掩膜板厚度为0.2~1mm。

本实用新型的显著技术效果是：

通过控制掩膜板开通孔的形状实现镀膜区域精确控制；.通过在掩膜板上设计凸台实现非镀膜区域的完好无损：通过控制掩膜板的材料硬度和表面粗糙度实现镜片与掩膜板接触区域的完好；通过设计止定螺钉、掩膜板、限位槽，避免待镀镜片与基座、掩膜板三者之间的相对运动与摩擦损伤；通过控制掩膜板的总厚度来控制镀膜边界区域的不均匀区域大小，并避免绕射现象发生。通过更换掩膜板，避免了夹具清洗时夹具和待镀镜片抛光区域的无损保护难题。

附图说明

图1是本实用新型的结构展示示意图。

图2是掩膜板的结构示意图。

图3是图2的剖视图。

图4是本实用新型的结构立体示意图。

图中：1—基座，1.1—凹槽，1.2—限位槽，2—掩膜板，2.1—凸台，3—止定螺钉，4—待镀镜片。

具体实施方式

下面结合附图和实施实例对本实用新型作进一步说明。

实施例1：是一个基本的实施例。如图1、2、3、4所示，一种不损伤镜片表面的组合式镀膜夹具，它由基座1、掩膜板2和止定螺钉3组成；所述基座1上设置有凹槽1.1，并且还对称地设置有与凹槽1.1相联通的限位槽1.2；所述掩膜板2为薄板，其外形是凹槽1.1与限位槽1.2构成的槽腔横截面的形状；限位槽1.2的底部与凹槽1.1的底部在同一平面上，掩膜板2放置在该平面上；掩膜板2通过限位槽1.2定位；凹槽1.1和掩膜板2的中心位置有通孔，该通孔形状与待镀镜片4的待镀膜区域相匹配，可以是圆形，或方形，或其它不规则形状；掩膜板2的通孔边缘上有用于放置待镀镜片4的凸台2.1；止定螺钉3用于将待镀镜片4与掩膜板2和基座1固定。