[实用新型]制备有机薄膜的真空热蒸发设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种制备有机薄膜的真空热蒸发设备，属于固态薄膜制备技术领域。

背景技术

基于量子点的LED器件的制备需要多种工艺，包括使用匀胶机甩膜制备聚合物薄膜和量子点薄膜、使用真空热蒸发制备有机薄膜和电极等。器件的表征和测试也会用到多种方法，比如用kethley测量基于量子点LED的电流特性、用荧光光谱仪测量器件的吸收谱和发射谱以及电致发光谱、用台阶仪标定各膜层的厚度等等。其中，ITO玻璃的刻蚀过程以及注意事项，经过这些步骤处理的玻璃基片已经比较清洁，但是对于器件制备的需求来讲，还是远远不够的。在每次器件制备之前，都需要对器件进行一次系统的清洗。如果不能够执行严格的操作步骤，导致生产出的器件性能影响非常显著。目前很多操作需要人工来完成，操作的精确度和产品的次品率较高，不能够实现充分的量产。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。

本实用新型提供了一种制备有机薄膜的真空热蒸发设备，主要包括真空蒸镀室、分子泵、机械泵和氮气瓶，所述真空蒸镀室分别通过管道与分子泵和机械泵连接，分子泵通过管道和机械泵连接，所述氮气瓶与真空蒸镀室连接。

优选的，上述真空蒸镀室和分子泵之间的连接管道中间设置有闸板阀，分子泵和机械泵之间的连接管道中间设置有挡板阀，真空蒸镀室和机械泵之间的连接管道中间设置有旁抽阀，，所述氮气瓶和真空蒸镀室之间的连接管道中间设置有通气阀。

优选的，上述机械泵和真空蒸镀室以及分子泵的两部分连接管道互相交汇。

优选的，在管道的交汇点和机械泵之间设置有热偶。

优选的，上述真空蒸镀室的一端设置有电离，所述挡板阀设置在管道的交汇点和分子泵之间。

优选的，上述真空蒸镀室内设置有样品架，底部一侧设置有前门。

优选的，上述真空蒸镀室还设置有放气阀，放气阀通过管道与真空蒸镀室连接。

本实用新型提供的制备有机薄膜的真空热蒸发设备通过巧妙的设计，提供了一种非常高效安全的操作系统，能够极大地提高生产器件的工作效率，并且大大降低产品的次品率，操作简单方便。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

附图标记：1-真空蒸镀室；2-分子泵；3-机械泵；4-闸板阀；5-挡板阀；6-旁抽阀；7-电离；8-热偶；9-氮气瓶；10-通气阀；11-前门；12-样品架；13-放气阀。

具体实施方式

为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1所示，本实用新型提供的制备有机薄膜的真空热蒸发设备，主要包括真空蒸镀室1、分子泵2、机械泵3和氮气瓶9，真空蒸镀室1分别通过管道与分子泵2和机械泵3连接，分子泵2通过管道和机械泵3连接，氮气瓶9与真空蒸镀室1连接。真空蒸镀室1和分子泵2之间的连接管道中间设置有闸板阀4，分子泵2和机械泵3之间的连接管道中间设置有挡板阀5，真空蒸镀室1和机械泵3之间的连接管道中间设置有旁抽阀6，氮气瓶9和真空蒸镀室1之间的连接管道中间设置有通气阀10。

机械泵3和真空蒸镀室1以及分子泵2的两部分连接管道互相交汇。在管道的交汇点和机械泵3之间设置有热偶8。真空蒸镀室1的一端设置有电离7，挡板阀5设置在管道的交汇点和分子泵2之间。真空蒸镀室1内设置行样品架12，底部一侧设置有前门11。真空蒸镀室1还设置有放气阀13，放气阀13通过管道与真空蒸镀室1连接。

分子泵2必须在前后两端都低于10Pa才能启动，否则容易损坏。熟悉真空操作的原理，对于熟练掌握操作流程，避免操作失误非常重要。

本实用新型的操作方法是：

1、打开总控电源，打开机械泵3。

2、旋开真空蒸镀室1前门旋钮，这样做的目的是防止室内压力下降后无法打开真空蒸镀室1门。

3、打开氮气瓶的通气阀，按下放气阀，向真空蒸镀室1中冲入氮气。真空蒸镀室内部气压逐渐升高，等待前门弹开后，关闭放气阀，并且关闭氮气瓶的通气阀。

4、打开真空蒸镀室前门，将玻璃基板放置在样品架上，将镀膜材料(有机物或者金属材料)放在蒸发源内。

5、关闭真空蒸镀室1门，用手紧紧压平蒸镀室的前门，踩下脚踏式的旁抽阀，对真空蒸镀室1进行初步抽真空，大气压将真空蒸镀室1紧紧关闭压紧。