[实用新型]一种真空镀膜转架结构有效
申请号: | 201520413203.3 | 申请日: | 2015-06-16 |
公开(公告)号: | CN204779792U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 肖桥兵 | 申请(专利权)人: | 广东易能纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 张明 |
地址: | 523000 广东省东莞市松山湖高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 结构 | ||
1.一种真空镀膜转架结构,包括基座(1)及设置于基座(1)的转轴(11),其特征在于:所述转轴(11)的上部设置有至少一个支架(2),所述支架(2)设置有用于承载工件的辅助机构(3),还包括用于驱动所述转轴(11)的驱动装置(4)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述驱动装置(4)包括伺服马达(41),所述伺服马达(41)连接有驱动齿轮(42),所述转轴(11)连接有减速齿轮(12),所述驱动齿轮(42)与减速齿轮(12)啮合。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述支架(2)包括可与转轴(11)滑动连接的固定环(21),所述固定环(21)环设有若干个伸出臂(22),所述辅助机构(3)设置于伸出臂(22)外端,所述固定环(21)还设置有用于抵接转轴(11)的固定螺栓(23)。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述转轴(11)还设置有供所述固定螺栓(23)伸入的固定槽(111)。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述辅助机构(3)为铁钩或固定夹。
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