[实用新型]一种真空镀膜转架结构有效

专利信息
申请号: 201520413203.3 申请日: 2015-06-16
公开(公告)号: CN204779792U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 肖桥兵 申请(专利权)人: 广东易能纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 代理人: 张明
地址: 523000 广东省东莞市松山湖高*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 结构
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜转架结构,包括基座(1)及设置于基座(1)的转轴(11),其特征在于:所述转轴(11)的上部设置有至少一个支架(2),所述支架(2)设置有用于承载工件的辅助机构(3),还包括用于驱动所述转轴(11)的驱动装置(4)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述驱动装置(4)包括伺服马达(41),所述伺服马达(41)连接有驱动齿轮(42),所述转轴(11)连接有减速齿轮(12),所述驱动齿轮(42)与减速齿轮(12)啮合。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述支架(2)包括可与转轴(11)滑动连接的固定环(21),所述固定环(21)环设有若干个伸出臂(22),所述辅助机构(3)设置于伸出臂(22)外端,所述固定环(21)还设置有用于抵接转轴(11)的固定螺栓(23)。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述转轴(11)还设置有供所述固定螺栓(23)伸入的固定槽(111)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜转架结构,其特征在于:所述辅助机构(3)为铁钩或固定夹。

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