[实用新型]基于MEMS技术的差分式红外线入侵探测器有效
| 申请号： | 201520415749.2 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN204680140U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 崔晓光 | 申请（专利权）人： | 沧州市博瑞科技信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G08B13/191 | 分类号： | G08B13/191 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 061000 河北省沧州市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 分式 红外线 入侵 探测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS技术的差分式红外线入侵探测器，其特征在于，其包括四个MEMS红外传感单元a、b、c和d，四个MEMS红外传感单元组成差分式电压判定结构；传感单元a的硅基上设置有采用XeF2深刻蚀的空腔，传感单元a的最上层附设有多晶硅层；传感单元b的硅基上不设置空腔，传感单元b的最上层附设有所述多晶硅层；传感单元c的硅基上不设置空腔，传感单元c的最上层也不附设所述多晶硅层；传感单元d的硅基上设置有采用XeF2深刻蚀的空腔，传感单元d的最上层不附设多晶硅层。
2.如权利要求1所述探测器，其特征在于，所述四个MEMS红外传感单元呈田字形布设。
3.如权利要求1所述探测器，其特征在于，所述基于MEMS技术的差分式红外线入侵探测器还包括菲涅尔透镜、处理电路和处理器。
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