[实用新型]一种用于激光合束的阶梯镜组有效
申请号: | 201520417874.7 | 申请日: | 2015-06-17 |
公开(公告)号: | CN204989638U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 王欢;陈昱 | 申请(专利权)人: | 南京先进激光技术研究院 |
主分类号: | G02B27/10 | 分类号: | G02B27/10 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 张晓霞 |
地址: | 210038 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 阶梯 | ||
1.一种用于激光合束的阶梯镜组,其特征在于:
所述阶梯镜组包括若干阶梯镜;
所述阶梯镜包含多级台阶,每级台阶包括台面与台壁,所述台面连接并支撑相邻两级台阶的台壁;
每个所述台壁对应一束入射激光,台壁表面镀有仅反射入射激光的选择性反射膜;各个台壁的倾斜方向根据其对应入射激光的入射方向确定,设置台壁方向使同一阶梯镜内入射激光经台壁的反射光路均相互平行且排成一列;
若干阶梯镜前后顺序排列,相邻阶梯镜的各级台壁一一对应,前方阶梯镜台壁的反射光透射后方阶梯镜的对应台壁,透射光与所述对应台壁的反射光合束。
2.根据权利要求1所述的用于激光合束的阶梯镜组,其特征在于:同一阶梯镜中各级台阶在同侧顺序分布或在两侧镜像对称分布。
3.根据权利要求1所述的用于激光合束的阶梯镜组,其特征在于:同一阶梯镜中的各级台面相互平行。
4.根据权利要求3所述的用于激光合束的阶梯镜组,其特征在于:所述同一阶梯镜同侧的多束入射激光入射方向均相同并垂直于台面,设置同侧各级台壁相互平行并与对应入射激光的入射方向成45°角。
5.根据权利要求1至4任一项所述的用于激光合束的阶梯镜组,其特征在于:所述选择性反射膜为波长选择或偏振选择。
6.根据权利要求1至4任一项所述的用于激光合束的阶梯镜组,其特征在于:每个阶梯镜中的选择性反射膜对入射其上的其它阶梯镜的反射光高透。
7.根据权利要求1至4任一项所述的用于激光合束的阶梯镜组,其特征在于:反射光路初始端阶梯镜中的选择性反射膜为金属膜或介质膜,其它阶梯镜中台壁所镀的选择性反射膜为介质膜。
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