[实用新型]一套用MOCVD尾气制氢的装置

权利要求书

1.一套用MOCVD尾气制氢的装置，其特征在于：所述制氢装置包含：

用于将含氢的尾气分解为氢氮混合气的分解炉(1)，

用于除去氢氮混合气中杂质、同时含有可再生吸附剂的变温吸附设备(4)，

用于将除杂后的氢氮混合气中的氢气浓缩提纯同时产生高压逆放气、低压逆放气的变压吸附设备(5)，和

用于将未除杂或除杂的氢氮混合气进行加压的氢气压缩机(3)；

所述分解炉(1)、变温吸附设备(4)和变压吸附设备(5)依次连接；

所述氢气压缩机(3)设于分解炉(1)与变温吸附设备(4)之间或

设于变温吸附设备(4)与变压吸附设备(5)之间。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述制氢装置还包含：

用于将含氢的尾气与氢氮混合气之间进行热交换的热交换器(2)，

用于将经过热交换的氢氮混合气进行冷却的第一水冷器(7)，

用于将未除杂或除杂的氢氮混合气进行冷却的第二水冷器(8)，和

用于将高压逆放气的流量和压强进行缓冲和稳定的逆放气缓冲罐(6)。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述分解炉(1)至少有1个，所述分解炉的加热方式为电加热，加热温度范围为600℃-900℃。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述氢气压缩机(3)设有用于通入未除杂或除杂氢氮混合气的进气口和用于输出未除杂或除杂氢氮混合气的出气口。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述氢气压缩机(3)的级数为1-3级；所述氢气压缩机的数量至少为一台。

6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述变温吸附设备(4)设有

用于通入未除杂的氢氮混合气的原料气进口，

用于输出除杂后的氢氮混合气的原料气出口，

用于通入令吸附剂再生的再生气体的再生进气口，

用于输出令吸附剂再生的再生气体的再生出气口；

所述变温吸附设备(4)的再生出气口排出的气体点火燃烧排空或直接排空。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：所述变温吸附设备(4)包含至少两个吸附塔；所述变温吸附设备(4)可加热或不加热；所述变温吸附设备(4)的加热方式为电加热，或用分解炉(1)余热进行加热，或用氢气压缩机(3)的余热进行加热。

8.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述变压吸附设备(5)设有

用于通入除杂后的氢氮混合气的原料气进口，

用于输出浓缩提纯后的高纯氢气的高纯气出口，

用于输出高压逆放气至逆放气缓冲罐的高压逆放气出口，

和低压逆放气出口。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于：所述变压吸附设备(5)还包括真空解析装置，并设有真空解析口；所述变压吸附设备(5)的低压逆放口和真空解析口排出的气体点火燃烧排空或直接排空。