[实用新型]一种高能紫外光学镜片测量装置有效
| 申请号： | 201520420745.3 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN205049317U | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 范元媛;周翊;宋兴亮;王倩;张立佳;单耀莹;蔡茜玮;彭卓君;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/59 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高能 紫外 光学镜片 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种高能紫外光学镜片测量装置，包括激光光源(1)、反射光栅(6)、第一能量探测器(4)和第二能量探测器(5)，其中，
所述激光光源(1)用于产生高能紫外脉冲激光；
所述反射光栅(6)用于接收所述激光光源(1)发射的高能紫外脉冲激光，但所述高能紫外脉冲激光不经过所述反射光栅(6)的衬底内部，该反射光栅将该高能紫外脉冲激光进行衍射分束，取其中能量最强的一级作为测量光，能量次强的一级作为参考光，待测镜片(3)放置于测量光的光路上；
所述第一能量探测器(4)用于探测参考光的能量；
所述第二能量探测器(5)用于探测测量光的能量。
2.如权利要求1所述的一种高能紫外光学镜片测量装置，其特征在于，所述第一能量探测器(4)和第二能量探测器(5)通过控制装置关联，可以同时记录某一时刻第一能量探测器(4)和第二能量探测器(5)的测量数值。
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