[实用新型]超级结布局结构

权利要求书

1.一种超级结布局结构，其特征在于，其中：

第一导电类型的半导体层包括有源区和围绕在有源区外侧的终端区；

在终端区的拐角区域中布置有第二导电类型的柱状立柱阵列；

在终端区的与其拐角区域相衔接的第一、第二周边区域和在有源区中均布置有第二导电类型的条状立柱；

第一周边区域和有源区的多个条状立柱并排设置并沿第一方向延伸，有源区的条状立柱朝终端区的第二周边区域延伸至它们各自的一个末端停留在第二周边区域中；

使拐角区域中第一导电类型掺杂物的电荷与第二导电类型掺杂物的电荷相互平衡。

2.根据权利要求1所述的超级结布局结构，其特征在于，第一周边区域中多个条状立柱朝拐角区域延伸至它们邻近拐角区域的末端对齐，使拐角区域为方形。

3.根据权利要求1所述的超级结布局结构，其特征在于，第一周边区域中设置长度不同且交替间隔配置的第一类、第二类条状立柱，将其中一者靠近拐角区域的末端设置为相对于另一者靠近拐角区域的末端以背离拐角区域的方向向内回缩。

4.根据权利要求1所述的超级结布局结构，其特征在于，在第一周边区域的多个条状立柱中，按照越靠近有源区条状立柱的长度越长的变化规律，使第一周边区域的多个条状立柱的长度由外至内依次逐步递增；以及

有源区中邻近拐角区域的一系列条状立柱，按照由有源区靠近第一周边区域的边缘至有源区中心的次序依次逐步递增，使拐角区域为三角形。

5.根据权利要求1所述的超级结布局结构，其特征在于，第一周边区域中每一个条状立柱的延长线上对应设置有柱状立柱阵列中的一行柱状立柱。

6.根据权利要求1所述的超级结布局结构，其特征在于，拐角区域中任意相邻的两行柱状立柱与任意相邻的两列柱状立柱定义出两组立柱，该两组立柱中同一行的柱状立柱同时位于一条与第一方向同向的线上，两组立柱中同一列的柱状立柱同时位于一条与第一方向相垂直的线上。

7.根据权利要求3所述的超级结布局结构，其特征在于，在拐角区域的柱状立柱阵列中设置有第一类、第二类柱状立柱，第一类柱状立柱子阵列具有的行和第二类柱状立柱子阵列具有的行交替间隔配置且在与第一方向相垂直的第二方向上彼此错开；

使任意一行第一类柱状立柱和相邻的另一行第一类柱状立柱之间设置有一行第二类柱状立柱，和使第一类柱状立柱子阵列中任意一列柱状立柱均与第二类柱状立柱子阵列中任意一列柱状立柱在第二方向上不重合。

8.根据权利要求7所述的超级结布局结构，其特征在于，一个或多个第二类柱状立柱填充在第二类条状立柱因其末端向内回缩所预留的空置区；其中

第一周边区域中每一个第一类条状立柱的延长线上对应设置有一行的第一类柱状立柱，及每一个第二类条状立柱的延长线上对应设置有一行第二类柱状立柱。

9.根据权利要求4所述的超级结布局结构，其特征在于，在拐角区域的柱状立柱阵列中设置有第一类、第二类柱状立柱，第一类柱状立柱子阵列具有的行和第二类柱状立柱子阵列具有的行交替间隔配置且在与第一方向相垂直的第二方向上彼此错开；

使任意一行第一类柱状立柱和相邻的另一行第一类柱状立柱之间设置有一行第二类柱状立柱，和使第一类柱状立柱子阵列中任意一列柱状立柱均与第二类柱状立柱子阵列中任意一列柱状立柱在第二方向上不重合。

10.根据权利要求4所述的超级结布局结构，其特征在于，将第一周边区域中的条状立柱、有源区中邻近拐角区域的一系列条状立柱各自邻近拐角区域的末端均设置在与第一方向的夹角成锐角的同一直线上；

在柱状立柱阵列中按照从起始于三角形中一个直角边位置处的首行柱状立柱到终止于直角三角形中斜边与另一直角边夹角位置处的末行柱状立柱的次序，使后一行柱状立柱的数量较之相邻的前一行柱状立柱的数量依次递减。