[实用新型]一种太阳能电池硅片印刷重量的监测装置有效
| 申请号： | 201520427699.X | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN204696081U | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 王伟兵;赵东 | 申请（专利权）人： | 浙江宝利特新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 317521 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 硅片 印刷 重量 监测 装置 | ||
1.一种太阳能电池硅片印刷重量的监测装置，硅片印刷机（1）的输入端连接有输送轨道一（2），硅片印刷机（1）的输出端连接有输送轨道二（3），硅片能够在输送轨道一（2）和输送轨道二（3）上移动，其特征在于，本监测装置包括控制器（6）、设置在所述输送轨道一（2）上的重量检测仪一（4）以及设置在所述输送轨道二（3）上的重量检测仪二（5），所述重量检测仪一（4）和重量检测仪二（5）上检测的数据能够传送至所述控制器（6）。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片印刷重量的监测装置，其特征在于，所述重量检测仪一（4）位于所述输送轨道一（2）宽度方向上的中部，所述重量检测仪二（5）位于所述输送轨道二（3）宽度方向上的中部，所述重量检测仪一（4）和重量检测仪二（5）上端均具有检测接触部（7），所述检测接触部（7）的上表面为圆弧锥面且高于所述输送轨道一（2）与输送轨道二（3）的上表面。
3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池硅片印刷重量的监测装置，其特征在于，所述重量检测仪一（4）和重量检测仪二（5）均为压电式传感器。
4.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池硅片印刷重量的监测装置，其特征在于，所述重量检测仪一（4）靠近所述硅片印刷机（1）的输入端，所述重量检测仪二（5）远离所述硅片印刷机（1）的输出端。
5.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池硅片印刷重量的监测装置，其特征在于，所述控制器（6）为单片机控制器或PLC控制器。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
