[实用新型]真空腔室间强隔离装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及于LOW-E玻璃镀膜生产线中的镀膜腔室，具体涉及真空腔室间强隔离装置。

背景技术

在LOW-E玻璃镀膜生产线中，传统的强隔离装置是在隔离腔内设置一块用于将传输玻璃的腔室和隔离腔内的气体分隔开的隔离板。这样，前阴极腔室和后阴极腔室(前阴极腔室和后阴极腔室统称镀膜腔室)所需的不同气体穿过起各种的腔壁排气口被隔离腔上方的分子泵(真空泵)抽走，防止前阴极腔室内的其他串入后阴极腔室内。

由于前阴极腔室和后阴极腔室的腔壁上均设置有玻璃进入和送出的通道，部分气体会通过该通道串入到另一镀膜腔室中去影响了另一腔室的镀膜质量，严重者还可能对另一腔室的靶材起破坏作用(如氧化)。

实用新型内容

针对现有技术中的上述不足，本实用新型提供了一种能够快速地将通过前阴极腔室和后阴极腔室的通道内溢出的气体进行排除的真空腔室间强隔离装置。

为了达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案为：

提供一种真空腔室间强隔离装置，其包括位于前阴极腔室和后阴极腔室之间的隔离腔，设置在隔离腔顶部的真空泵和设置在隔离腔内、用于将传输玻璃的腔室与隔离腔内的气体分隔开的上隔离板；腔室内相邻传输辊之间、传输辊与前阴极腔室的腔壁之间和传输辊与后阴极腔室的腔壁之间设置有间隔隔板，传输的玻璃经过间隔隔板、传输辊与上隔离板之间形成的通道；上隔离板位于每个传输辊正上方的那部分均匀地设置有若干用于调节通道内的气体流入隔离腔内的流量大小的气体调节装置。

本实用新型的有益效果为：玻璃从镀膜腔室内送出或送入时，部分进入通道内的气体可以通过设置的气体调节装置与真空泵的配合快速地通过隔离板和隔离腔排出，解决了部分气体通过通道串入到另一镀膜腔室中去影响了另一腔室的镀膜质量，起到了隔离效果的万无一失；同时还可以对另一个腔室内的靶材起到保护作用。

附图说明

图1为强隔离装置安装在真空腔室间的剖视图。

图2为上隔离板的局部剖视图。

图3为图1中A部的放大图。

其中，1、前阴极腔室；2、隔离腔；3、真空泵；4、后阴极腔室；5、传输辊；6、间隔隔板；7、上隔离板；71、阀门；72、滑槽；73、压紧螺母；74、触焊螺钉；8、玻璃。

具体实施方式

下面对本实用新型的具体实施方式进行描述，以便于本技术领域的技术人员理解本实用新型，但应该清楚，本实用新型不限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员来讲，只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本实用新型的精神和范围内，这些变化是显而易见的，一切利用本实用新型构思的实用新型创造均在保护之列。

如图1，该真空腔室间强隔离装置包括位于前阴极腔室1和后阴极腔室4(前阴极腔室1和后阴极腔室4统称镀膜腔室)之间的隔离腔2，设置在隔离腔2顶部的真空泵3和设置在隔离腔2内、用于将传输玻璃8的腔室与隔离腔2内的气体分隔开的上隔离板7。

为了避免从镀膜腔室内溢出的气体到处扩散以影响气体抽取效率，在腔室内相邻传输辊5之间、传输辊5与前阴极腔室1的腔壁之间和传输辊5与后阴极腔室4的腔壁之间设置有间隔隔板6，传输的玻璃8经过间隔隔板6、传输辊5与上隔离板7之间形成的通道。

间隔隔板6设置之后，溢出的气体只能在通道内扩散，不能进入传输辊5之间的空隙位置中去，这样可以方便后续真空泵3对气体的抽取排出。

上隔离板7位于每个传输辊5正上方的那部分均匀地设置有若干用于调节通道内的气体流入隔离腔2内的流量大小的气体调节装置。玻璃8从镀膜腔室内送出或送入时，部分进入通道内的气体可以通过设置的气体调节装置与真空泵3的配合快速地通过隔离板和隔离腔2排出，从而保证了另一个镀膜腔室内的镀膜质量。

参考图2，图2示出了上隔离板7的局部剖视图。如图2所示，设计时优选气体调节装置包括在上隔离板7位于每个传输辊5正上方的那部分上开设的若干排气孔(排气孔优选为方形孔)、盖合在排气孔上的两块阀门71和用于调节两块阀门71打开排气孔开度的调节结构(调节阀门71在排气方孔上左、右滑动，实现排气孔的开口大小的调节)。

如图3所示，在本实用新型的一个实施例中，该调节结构为开设在阀门71上的滑槽72和与上隔离板7焊接在一起的触焊螺钉74；触焊螺钉74的自由端穿过阀门71上的滑槽72；滑槽72为一条腰形槽孔。