[实用新型]真空镀膜腔室阀门启闭装置有效
| 申请号： | 201520432103.5 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN204803401U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 贺强 | 申请（专利权）人： | 中建材（内江）玻璃高新技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 641200 四川省内*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 阀门 启闭 装置 | ||
1.真空镀膜腔室阀门启闭装置，其特征在于：包括转动轴(1)、连杆(2)、固定座(3)、活动座(4)和密封梁(5)；所述固定座(3)的两侧各至少通过一颗固定螺钉(31)固定安装在镀膜腔室外壁(6)上；所述转动轴(1)贯穿于所述固定座(3)，且所述转动轴(1)与所述固定座(3)之间存在一间隙；所述连杆(2)通过至少一颗内六角螺钉安装在所述转动轴(1)上；所述活动座(4)的横向通过至少一颗传动销轴(41)安装在所述连杆(2)上；所述密封梁(5)通过至少一锁紧机构固定安装在所述活动座(4)的纵向。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜腔室阀门启闭装置，其特征在于：所述锁紧机构包括安装在所述活动座(4)的通孔内的圆柱头轴肩螺钉(51)和所述圆柱头轴肩螺钉(51)位于通孔内那段上套设的压缩弹簧(42)。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜腔室阀门启闭装置，其特征在于：所述密封梁(5)的密封面与镀膜腔室的进料口外壁的密封面平行。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜腔室阀门启闭装置，其特征在于：每根连杆(2)上至少设置有一颗穿过所述连杆(2)、与所述密封梁(5)接触，用于使密封梁(5)的密封面与镀膜腔室的进料口外壁的密封面平行的紧定螺钉(21)。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜腔室阀门启闭装置，其特征在于：所述紧定螺钉(21)与所述密封梁(5)接触端为球形端头。
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