[实用新型]基于偏振光成像技术的检测装置有效
| 申请号： | 201520439023.2 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN204903413U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王赟 | 申请（专利权）人： | 上海盛广科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 200070 上海市闸北*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 偏振光 成像 技术 检测 装置 | ||
1.一种基于偏振光成像技术的检测装置，其特征在于，包括
载物台，用以放置待检测物；
光源，用于以复数个预定角度发出可见光斑，所述可见光斑照射至所述待检测物表面；
光强度成像装置，获取所述待检测物表面的光强度信息；
偏振光成像单元，用于接收所述可见光斑于所述待检测物表面的反射光线，获取所述反射光线的原始偏振信息；
计算单元，用以根据所述原始偏振信息进行图像融合，获取融合后的图像数据；
检测单元，用以根据所述图像数据识别所述待检测物的瑕疵。
2.根据权利要求1所述的基于偏振光成像技术的检测装置，其特征在于，所述复数个预定角度为三个预定角度，其中三个预定角度检测所述待检测物表面。
3.根据权利要求1所述的基于偏振光成像技术的检测装置，其特征在于，所述计算单元采用Mallat小波变换算法获取融合后的图像数据。
4.根据权利要求2所述的基于偏振光成像技术的检测装置，其特征在于，所述三个预定角度分别定义为0°，60°，120°。
5.根据权利要求1所述的基于偏振光成像技术的检测装置，其特征在于，所述光源与所述偏振光成像单元分别设置于所述载物台两侧。
6.根据权利要求1所述的基于偏振光成像技术的检测装置，其特征在于，还包括第一固定装置，用以固定所述偏振光成像单元。
7.根据权利要求1所述的基于偏振光成像技术的检测装置，其特征在于，还包括第二固定装置，用以固定所述光源。
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