[实用新型]一种晶体生长炉感应加热电源线圈保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体生长炉感应线圈保护装置，具体涉及一种线圈的保护及设备的稳定可靠性装置。

背景技术

由于晶体生长过程中加热线圈处于高温区，停电后水路循环将停止工作，电源虽然停止输出，但是炉体内温场的温度还是足以使加热线圈融化破裂。传统的大型UPS（UninterruptiblePowerSystem/UninterruptiblePowerSupply，即不间断电源）和大型的发电机保护系统水路，其结构复杂，初期投入相对大，运行成本和后期维护成本都相对较大。且对线圈的保护不够灵敏，所以对线圈起不到很好的保护作用。由于晶体生长的特殊性，如果更换线圈对晶体生长的一致性和稳定性都将受到影响。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉感应加热电源的线圈保护装置，很好的解决了传统保护设备的众多缺点。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种晶体生长感应加热电源线圈保护装置包括：水冷管路和备用供水管路；其中，由市电向所述水冷管路的进水端泵入冷却水，水冷管路的出水端设置有水池，水冷管路盘绕在线圈附近，对线圈降温；所述备用供水管路的出水端连接在水冷管路上，备用供水管路从进水端至出水端依次连接有水箱、水泵、第一单向阀，所述水泵上连接有断线切换开关，所述断线切换开关与UPS连接，断线切换开关的监测端与市电连接。

进一步，所述水冷管路的进水端附近设置有第二单向阀。

进一步，所述备用供水管路通过三通接头与所述水冷管路连接。

正常冷却时，由市电向水冷管路中泵水，水冷管路将线圈的热量带入水池中。当市电断电时，无法继续利用市电泵水，断线切换开关检测到市电停电导通UPS，UPS给水泵供电，水泵开始工作，水箱中的水经水泵、第一单向阀流入水冷管路。由于水路短，反应快，所以很好的保护了线圈不受损坏。

本使用新型的优点是：结构简单、成本低廉、反应灵敏、进水压力大。通过停电以后快速切换备用水路很好的保护了线圈，间接的保护了设备的完成性，为晶体生长提供一个稳定的重复性好的生长条件。

附图说明

图1为本实用新型一种晶体生长炉感应加热电源线圈保护装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，详细说明本实用新型的具体实施方式。

如图1所示为本实用新型一种晶体生长感应加热电源线圈保护装置的具体实施例，在本实施例中具体包括：一种晶体生长感应加热电源线圈保护装置包括：水冷管路9和备用供水管路11；其中，由市电向水冷管路9的进水端泵入冷却水，如图中箭头所示，水冷管路9的进水端附近设置有第二单向阀1-2，水冷管路9的出水端设置有水池8，水冷管路9盘绕在线圈7附近，对线圈7降温；备用供水管路11的出水端通过三通接头2与水冷管路9连接，备用供水管路11从进水端至出水端依次连接有水箱4、水泵3、第一单向阀1-1，水泵3上通过电线10连接有断线切换开关5，断线切换开关5与UPS6连接，断线切换开关5的监测端与市电连接。

正常冷却时，由市电向水冷管路9中泵水，水冷管路9将线圈7的热量带入水池8中。当市电断电时，无法继续利用市电泵水，断线切换开关5检测到市电停电导通UPS6，UPS6给水泵3供电，水泵3开始工作，水箱4中的水经水泵3、第一单向阀1-1流入水冷管路9中。由于水路短，反应快，所以很好的保护了线圈不受损坏。

使用后，将开关5复位，水箱4加满水，检查ups6是否正常运行。

本使用新型的优点是：结构简单、成本低廉、反应灵敏、进水压力大。通过停电以后快速切换备用水路很好的保护了线圈，间接的保护了设备的完成性，为晶体生长提供一个稳定的重复性好的生长条件。

上述示例只是用于说明本实用新型，本实用新型的实施方式并不限于这些示例，本领域技术人员所做出的符合本实用新型思想的各种具体实施方式都在本实用新型的保护范围之内。