[实用新型]一种组合式传感器

权利要求书

1.一种组合式传感器，由氮氧化物敏感层A、加热层B、颗粒物敏感层C组成，其特征在于：加热层B布置于氮氧化物敏感层A和颗粒物敏感层C之间并结合成一体；氮氧化物敏感层A由外电极基板、反应腔室基板、内电极基板、参比电极基板、底层基板组成，外电极基板顶面覆盖导线绝缘层，外电极基板顶面的尾端有电极引脚i、电极引脚j、电极引脚g、电极引脚h，导线绝缘层上布置主泵外电极，主泵外电极上方覆盖外电极保护层；反应腔室基板开有第一反应腔室和第二反应腔室，反应腔室基板位于外电极基板的下方，反应腔室基板与外电极基板之间布置主泵内电极和辅泵内电极；内电极基板位于反应腔室基板的下方，内电极基板与反应腔室基板之间布置有下层主泵内电极、下层辅泵内电极和检测电极，下层主泵内电极、下层辅泵内电极与主泵内电极、辅泵内电极通过第一反应腔室和第二反应腔室侧壁上的电极浆料连接；参比电极基板位于内电极基板的下方，参比电极基板开有空气参比腔室，参比电极布置在参比电极基板与内电极基板之间；底层基板布置在参比电极基板的下方；

加热层B的加热基板开有两个加热基板通孔，加热电极和测温电极布置在加热基板顶面；

颗粒物敏感层C的敏感层基板位于加热基板下方，敏感层基板上也开有两个与加热基板位置一致的敏感层基板通孔，敏感层基板底面覆盖绝缘层，敏感层基板底面的后端有电极引脚a、电极引脚b、电极引脚c、电极引脚d、电极引脚e、电极引脚f，绝缘层下方再布置颗粒物敏感电极，颗粒物敏感电极为梳状叉指电极，颗粒物敏感电极的导线上覆盖保护层。

2.根据权利要求1中所述的一种组合式传感器，其特征在于所述的电极引脚j与检测电极尾端通过组合式传感器一侧涂覆的电极浆料连接，电极引脚h与辅泵内电极尾端通过组合式传感器另一侧涂覆的电极浆料连接，电极引脚g与主泵内电极的尾端通过组合式传感器与电极引脚h同侧涂覆的电极浆料连接。

3.根据权利要求1中所述的一种组合式传感器，其特征在于所述的加热电极通过加热基板通孔和敏感层基板通孔与电极引脚c和电极引脚d连接，电极引脚b和电极引脚e与颗粒物敏感电极连接，参比电极通过组合式传感器的侧面涂覆的电极浆料与下方的电极引脚a连接，测温电极通过组合式传感器的另一侧涂覆的电极浆料与电极引脚f连接。

4.根据权利要求1中所述的一种组合式传感器，其特征在于所述的颗粒物敏感层C也可布置在氮氧化物敏感层A的上方，敏感层基板上表面覆盖绝缘层，绝缘层上方再布置颗粒物敏感电极，颗粒物敏感电极为梳状叉指电极，颗粒物敏感电极的导线上覆盖保护层，敏感层基板顶面的后端有电极引脚g、电极引脚h、电极引脚b、电极引脚e、电极引脚i、电极引脚j，隔离基板位于敏感层基板的下方，设有腔室，还设有与敏感层基板通孔位置一致的隔离基板通孔；电极引脚g与主泵内电极尾端通过组合式传感器一侧涂覆的电极浆料连接，电极引脚h与辅泵内电极尾端通过组合式传感器另一侧涂覆的电极浆料连接，电极引脚b与颗粒物敏感电极的一端导线连接，电极引脚e与颗粒物敏感电极的另一端导线连接，电极引脚i与主泵外电极的尾端通过敏感层基板通孔和隔离基板通孔连接，电极引脚j与检测电极尾端通过组合式传感器另一侧涂覆的电极浆料连接。