[实用新型]适于野外使用的便携式自动控制分子泵系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种适于野外使用的便携式自动控制分子泵系统。

背景技术

伴随着高精密仪器设备的广泛应用，随之而来的就是使用方自身的文化以及技术水平不足以驾驭这些精密复杂的仪器设备，从而发生由于设备操作不当、保护不当所造成的设备自身寿命降低或者损坏的情况，或者无法达到使用者本身所需要的使用目的。另外，伴随着应用领域的扩展，将本应在实验室这种无尘、恒温条件下应用的高精密设备，应用在野外恶劣的环境中的情况也随之增多。目前，还没有适合野外恶劣环境使用的便携式自动控制分子泵系统。

实用新型内容

本实用新型的目的是为解决目前没有适合野外恶劣环境使用的便携式自动控制分子泵系统的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种适于野外使用的便携式自动控制分子泵系统，包括机壳、复合真空计、手动挡板阀、分子泵、电磁充气阀、电磁充气挡板阀、双级旋片泵和分子泵控制器，所述复合真空计、手动挡板阀、分子泵、电磁充气阀、电磁充气挡板阀和双级旋片泵的气路管道端口顺次连接构成完整的气体传输通道，复合真空计、手动挡板阀、分子泵、电磁充气阀、电磁充气挡板阀和双级旋片泵设于所述机壳内，所述复合真空计的输入端通过真空管路连接有波纹管，所述波纹管与被抽容器柔性连接，所述真空管路上设有检漏口；

所述复合真空计的真空度信号输出端连接到所述分子泵控制器的信号输入端，分子泵控制器具有多个信号输出端，其中，第一信号输出端连接到分子泵的变频调速控制端，第二信号输出端连接到加速运行指示灯，第三信号输出端连接到正常运行指示灯。

进一步地，所述分子泵控制器的第四信号输出端连接到故障指示继电器的线圈，故障指示灯与所述故障指示继电器的常开触点串联。

进一步地，所述检漏口上连接有氦质谱检漏仪。

进一步地，所述机壳由经阳极氧化处理的铝合金焊接而成。

进一步地，所述机壳两侧分别设有通风口和大流量风机，通风通道中设有防水和滤尘装置。

进一步地，所述复合真空计由电阻规管和电离规管组成。

本实用新型在分子泵前级设置有双级旋片泵，可在一定程度上加快抽真空的速度；采用复合真空计测量气体管道的真空度，使测量精度更高，测量范围更宽；通过分子泵控制器，能根据复合真空计测得的真空度实时控制分子泵的启停，运行过程中无需人工干预，自动化程度高，对用户的技术要求底，使用非常方便；当电流过大、加速时间过长、泵过热、输入电压过低、速度超过设定极限和控制器异常时，分子泵自动减速直至停机，当系统突然断电时，电磁充气挡板阀自动关闭并向双级旋片泵腔内充气防止由于前级真空所造成的泵油倒吸，分子泵由于前级管路被自动切断，会在不受到任何损伤的情况下自行旋转减速至静止，安全性高；机壳采用全铝合金材料，可最大限度减轻重量和缓冲振动，机壳进行阳极氧化处理，可避免磕碰导致较软的铝合金材料变形；所有开口密封处采用防水胶条密封，为了在密封条件下使设备的运行温度不受影响，在机壳两侧分别安装了大流量风机和通风口，并进行防水和灰尘过滤处理；机壳内所有设备和部件，都采用柔性连接和胶垫缓冲，抗震性得到提高。

电磁充气阀能在关机或者自动停机时自动向分子泵持续充入微量的大气，以保证在不损伤分子泵的前提下迫使分子泵在５分钟内完全停机（如果没有此装置分子泵的停机持续时间是３０分钟以上）提高关机速度和应用效率。

附图说明

图1为本实用新型PID（Piping & Instrument Diagram，管道仪表流程图）系统图。

图中：1.波纹管；2.真空管路；3.检漏口；4.复合真空计；5.手动挡板阀；6.分子泵；7.电磁充气阀；8.电磁充气挡板阀；9.双级旋片泵；10.机壳。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。