[实用新型]一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统

权利要求书

1.一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：它包括废液槽（1）、与所述废液槽（1）相连通的氟硅酸去除组件（3）、与所述氟硅酸去除组件（3）相连通的氢氟酸去除组件（4）以及与所述氢氟酸去除组件（4）相连通的硝酸收集组件（5）。

2.根据权利要求1所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述氟硅酸去除组件（3）包括与所述废液槽（1）相连通的第一沉淀釜（31）、与所述第一沉淀釜（31）相连通用于向其中加入碱金属化合物的第一药箱（32）、与所述第一沉淀釜（31）相连通用于将其中溶液进行固液分离的第一过滤器（34）以及与所述第一过滤器（34）相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第一干燥器（35）。

3.根据权利要求2所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述氢氟酸去除组件（4）包括与所述第一过滤器（34）相连通用于承接其液体成分的第二沉淀釜（41）、与所述第二沉淀釜（41）相连通用于向其中加入碱土金属化合物的第二药箱（42）、与所述第二沉淀釜（41）相连通用于将其中溶液进行固液分离的第二过滤器（44）以及与所述第二过滤器（44）相连通用于承接其固体成分并进行干燥的第二干燥器（45）。

4.根据权利要求3所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述硝酸收集组件（5）包括与所述第二过滤器（44）相连通用于承接其液体成分并进行蒸馏的蒸馏釜（51）、与所述蒸馏釜（51）相连通的换热器（52）以及与所述换热器（52）相连通用于承接冷凝液的收集槽（53）。

5.根据权利要求3所述的多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：所述废液槽（1）与所述第一沉淀釜（31）之间、所述第一沉淀釜（31）与所述第一过滤器（34）之间、所述第二沉淀釜（41）与所述第二过滤器（44）之间分别通过第一输液泵（2）、第二输液泵（33）、第三输液泵（43）相连通。