[实用新型]一种检测透镜面形用组合式偏振分光器检测装置

权利要求书

1.一种检测透镜面形用组合式偏振分光器检测装置，包括组合式偏振分光器，其特征在于：所述组合式偏振分光器的正下方设置有激光扩束镜，所述激光扩束镜的正下方设置有检测光源，所述组合式偏振分光器的正上方设置有光学样板，所述组合式偏振分光器的正左方设置有接收屏。

2.根据权利要求1所述的检测透镜面形用组合式偏振分光器检测装置，其特征在于：所述组合式偏振分光器包括由两个相同的等腰直角三棱镜胶合而成的立方棱镜，其中一个等腰直角三棱镜的胶合面镀有偏振分光介质膜。

3.根据权利要求2所述的检测透镜面形用组合式偏振分光器检测装置，其特征在于：所述立方棱镜的周侧胶合有检偏器、起偏器和1/4波片，所述检偏器设置于立方棱镜的正左侧，所述起偏器设置于立方棱镜的正下侧，所述立方棱镜的正上侧和正右侧均设置有1/4波片。

4.根据权利要求1所述的检测透镜面形用组合式偏振分光器检测装置，其特征在于：所述激光扩束镜包括扩束镜和光束整形镜，所述扩束镜设置于激光扩束镜的下部，所述光束整形镜设置于激光扩束镜的上部。

5.根据权利要求2所述的检测透镜面形用组合式偏振分光器检测装置，其特征在于：所述光学样板上设置有用于调整光波相位的压电陶瓷移相器，所述接收屏光轴线与等腰直角三棱镜的胶合面形成的角度为45°。

6.根据权利要求3所述的检测透镜面形用组合式偏振分光器检测装置，其特征在于：所述检测光源、激光扩束镜、起偏器以及光学样板的光轴线重合，所述接收屏的光轴线与检偏器的光轴线重合，所述接收器的光轴线和光学样板的光轴线均与等腰直角三棱镜的胶合面中心相交。