[实用新型]直写式曝光系统中的扫描台

权利要求书

1.直写式曝光系统中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板（1），其特征在于，所述台面板（1）上方设置有两根相互平行且平行于台面板（1）的压板横梁（2），两压板横梁（2）均横跨台面板（1），所述台面板（1）的侧面设置有与压板横梁（2）的各个端部相对应的安装座（3），该安装座（3）与台面板（1）相对固定，各个安装座（3）上分别设置有一个升降驱动装置（4），所述压板横梁（2）的两端分别与对应安装座（3）上的升降驱动装置（4）相连接，同一压板横梁（2）两端的升降驱动装置（4）同步驱动该压板横梁（2）上下移动。

2.根据权利要求1所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述压板横梁（2）垂直于与其两端对应的台面板（1）侧面，所述安装座（3）共有四个，分别与两压板横梁（2）的各个端部一一对应，四个安装座（3）分别固定设置于台面板（1）与两压板横梁（2）相互垂直的两侧侧面，每个安装座（3）上均设置有能驱动升降驱动装置（4）沿该安装座（3）所在侧面横向移动的电动执行机构（5），该电动执行机构（5）包括一个可沿电动执行机构（5）的驱动方向滑动的滑动台（6），所述升降驱动装置（4）固定连接在滑动台（6）上。

3.根据权利要求2所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述升降驱动装置（4）与滑块（14）之间设置有一块连接板（8），所述压板横梁（2）上与连接板（8）相对的位置设置有一竖向通孔（9），连接板（8）上竖向固定连接有一根穿过通孔（9）的导杆（10），导杆（10）上套设有预压缩的弹簧（11），弹簧（11）的一端与压板横梁（2）底部相抵，另一端与连接板（8）上端面相抵。

4.根据权利要求3所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述通孔（9）内设置有一个内径与导杆（10）直径相配合的直线轴承（12），所述导杆（10）穿设在直线轴承（12）内。

5.根据权利要求4所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述压板横梁（2）上设置有沿压板横梁（2）长度方向布置的橡胶压板（13），橡胶压板（13）的下沿低于压板横梁（2）的下沿且平行于台面板（1）的上表面。

6.根据权利要求5所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述升降驱动装置（4）是带导杆气缸。