[实用新型]一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统

权利要求书

1.一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，其特征在于：包括储液罐（1）、补液罐（2）和用于测量补液罐（2）重量的称重装置（3），其中，补液罐（2）上设有分别向沉积炉腔体输送正硅酸乙酯的进液管Ⅰ（201）和向补液罐（2）内补充正硅酸乙酯的补液管（202），所述储液罐（1）上设置有向其内输送正硅酸乙酯的进液管Ⅱ（101），进液管Ⅱ（101）上连接有一根连接管（4），连接管（4）与补液管（202）以可拆卸方式连通，所述进液管Ⅰ（201）上设置有进液阀Ⅰ（203），补液管（202）上依次设置有补液阀Ⅰ（204）和补液阀Ⅱ（205），连接管（4）上设置有手动阀（401），进液管Ⅱ（101）上依次设置有进液阀Ⅱ（102）和进液阀Ⅲ（103），且连接管（4）与进液管Ⅱ（101）连接的一端连接点位于进液阀Ⅱ（102）和进液阀Ⅲ（103）之间的位置。

2.根据权利要求1所述的一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，其特征在于：所述储液罐（1）上设置有备用管（104），备用管（104）上设置有控制阀（105）。

3.根据权利要求1所述的一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，其特征在于：所述补液罐（2）、称重装置（3）、安装在补液罐（2）上的进液管Ⅰ（201）和补液管（202）构成一路供液线路，该供液线路为多条，每条供液线路中的补液管（202）均与为连接管（4）连通。

4.根据权利要求1所述的一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，其特征在于：所述称重装置（3）输出重量信号给智能控制器，智能控制器根据该信号控制补液阀Ⅰ（204）的打开或关闭，以实现对补液罐（2）的自动补液。