[实用新型]一种用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置

权利要求书

1.一种用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置，包括伺服电机、静压主轴、横梁支撑板（8）、主轴轴套（11）、机床横梁（13）、微进给刀架（14）和金刚石刀具（15），其特征在于，所述静压主轴从上至下依次同轴设置有输入端部件（7）、上止推盘（9）、轴心（10）和下止推盘（12），输入端部件（7）通过螺栓安装在上止推盘（9）上，所述上止推盘（9）、轴心（10）和下止推盘（12）通过螺栓连接，所述主轴轴套（11）设置在轴心（10）外侧，所述静压主轴的顶端设置有高精度标准平晶（2）；伺服电机包括电机定子（4）、电机转子（5）和机壳（6），电机转子（5）安装在输入端部件（7）外侧上端，电机定子（4）与电机转子（5）对应设置，电机定子（4）通过机壳（6）与机床横梁支撑板（8）相连，横梁支撑板（8）固定安装在机床横梁（13）上；所述主轴轴套（11）通过螺栓直接固定在机床横梁（13）上；所述微进给刀架（14）安装在下止推盘（12）的下方，所述金刚石刀具（15）安装在微进给刀架（14）下端，微进给刀架（14）下端的下方设有真空吸盘（17）；所述横梁支撑板（8）的顶端固定安装有龙门支架（3），龙门支架（3）的内部一侧安装有激光动态干涉仪（1），激光动态干涉仪（1）上连接有干涉仪激光源模块（20）和计算机（18），干涉仪激光源模块（20）上连接有干涉仪遥控器（19）。

2.根据权利要求1所述的用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置，其特征在于，所述激光动态干涉仪（1）为对振动不敏感的激光干涉仪，测量模式采用高速光学相位传感器，最高曝光时间1μs，RMS重复性<0.633nm，RMS精度<1.25nm。

3.根据权利要求1所述的用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置，其特征在于，所述高精度标准平晶（2）为光学平晶，面形精度PV值小于λ/50，其中λ=0.633μm，表面粗糙度RMS值小于2nm。

4.根据权利要求1所述的用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置，其特征在于，所述静压主轴采用超精密直驱式静压主轴。