[实用新型]片式氮氧化物传感器的敏感元件

权利要求书

1.片式氮氧化物传感器的敏感元件，由敏感层A、参比层B、加热层C组成，其特征在于：敏感层A由敏感层底层基片、敏感层中间层基片、敏感层顶层基片组成，主泵外电极布置在敏感层顶层基片上，主泵外电极上覆盖主泵外电极保护层，敏感层中间层基片前端开有4个腔室，主泵内电极和辅泵内电极布置在敏感层中间层基片与敏感层顶层基片之间，底层主泵内电极、底层辅泵内电极、检测电极布置在敏感层底层基片和敏感层中间层基片之间；

参比层B由参比层底层基片和参比层顶层基片组成，参比层顶层基片开有参比层腔室，参比电极布置在参比层顶层基片上；

加热层C由加热层底层基片和加热层顶层基片组成，加热电极夹在下绝缘层和上绝缘层之间然后布置在加热层顶层基片上，加热电极前端为加热区域，后端为电极上导线和测温电极，电极下导线布置在加热层底层基片和加热层顶层基片之间，加热层顶层基片前端开有顶层基片前通孔，加热层顶层基片后端开有顶层基片后通孔，通孔直径为0.2-0.5mm，加热层底层基片后端开有两个底层基片通孔，通孔直径为0.2-0.5mm，加热电极通过顶层基片前通孔与电极下导线前端连接，电极下导线后端通过底层基片通孔与加热层底层基片底层的引脚连接，加热电极的电极上导线和测温电极通过顶层基片后通孔和底层基片通孔与加热层底层基片底层的引脚连接。

2.根据权利要求1中所述的片式氮氧化物传感器的敏感元件，其特征在于所述的加热电极为四方渐开线形的发热线，发热线的宽度是导线宽度的20%～50%，发热线的线间距相同。