[实用新型]一种扩散炉用自动推拉装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造装置技术领域，尤其涉及一种扩散炉用自动推拉装置。

背景技术

扩散炉是用于半导体扩散(掺杂)工艺的一种专用设备，其原理是在高温环境下，通过分子的热运动，让磷(P)、铝(AL)、镓(Ga)、硼(B)等杂质元素进入纯净的硅片内部，形成PN结。扩散的过程是在炉膛内进行的，在进行扩散之前，需要将被扩散的硅片通过推拉舟放入炉膛内；

目前在半导体及光伏产业中扩散、PECVD自动送料系统中，现有的自动推拉装置通常使用丝杠传动，底盘不动，只是加持部分局部上下运动，无法满足工作的要求；

专利号为CN202339931U的专利：该专利包括横向机构、升降机构、托架机构，其中横向机构包括电机、同步带轮、同步带、固定板、滑块、滑轨、底板，电机与同步带轮连接，同步带套在同步带轮上，同步带与固定板固定连接，固定板与滑块固定连接，滑块与滑轨配合，滑轨固定在底板上；升降机构包括电机、联轴器、螺旋升降机、滑轨、滑块，电机通过联轴器与螺旋升降机连接，螺旋升降机与横向机构中的底板固定连接，滑轨与滑块配合，滑块与横向机构中的底板固定连接；托架机构与横向机构中的固定板固定连接；

该专利的有益效果是采用步进电机带动同步带和同步带轮来实现的，降低了维修频率，解决了更换麻烦的不足；其上下运动采用整体升降式运动，减少了推拉舟的占用空间，提高了设备的稳定性，但是这样结构复杂，而且夹持的部位无法具体调整，这样在调节位置时，需要对装置整体调节，浪费时间，降低工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种扩散炉用自动推拉装置，解决现有技术中自动推拉装置横向、竖向运动不稳定，和推拉舟无法局部调整的技术问题；

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

一种扩散炉用自动推拉装置，包括支架，所述支架上方设置有电机一，所述电机一下方设置有丝杆一，所述丝杆一上安装有丝杆螺母一，所述丝杆螺母一的背面固定有支撑板，所述支撑板两端分别安装有滑块一和滑块二，所述滑块一和滑块二分别套装在滑行杆一上，所述滑行杆一竖直安装在支架上，所述滑块一上安装有电机二，所述滑块一与滑块二之间设置有滑行杆二，所述滑行杆二上套装有滑块三，所述电机二上水平安装有丝杆二，所述丝杆二上安装有丝杆螺母二，所述丝杆螺母二设置在滑块三内部，所述滑块三外侧设置有夹持装置；

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步，所述支架上均匀设置有多组滑行杆三，所述滑行杆三上设置有滑块四且位于丝杆一两侧，所述滑块四与支撑板连接，采用本步的有益效果是通过滑行杆三来限制装置竖直方向的运动，可以保证装置在竖直方向运动的稳定性，保证推拉时的稳定性；

进一步，所述夹持装置包括固定杆、固定块、支撑杆和夹持部，所述固定杆水平焊接在滑块三上，所述固定块一端安装在固定杆上，另一端安装支撑杆，所述支撑杆下方设置有夹持部，采用本步的有益效果是通过对夹持装置进行设计，可以对夹持的装置进行局部微调，而不需要对装置进行整体调节，提高工作效率；

进一步，所述固定块与固定杆之间设置有调节螺栓一，所述固定块与支撑杆之间设置有调节螺栓二，采用本步的有益效果是方便调节固定块的位置，从而方便调节夹持部的位置；

进一步，所述电机二为步进电机；

进一步，所述滑行杆二的末端设置有限位块，采用本步的有益效果是通过限位块来控制夹持装置横向的运动距离；

进一步，所述支架下方设置有控制箱，采用本步的有益效果是通过控制箱控制电机一和电机二；

进一步，所述控制箱下方设置有万向刹车轮，采用本步的有益效果是控制支架的行走；

本实用新型通过电机一、丝杆一和丝杆螺母来进行竖直方向上的运动，将支撑板固定在丝杆螺母上，以此带动支撑板上下运动；

本实用新型在支撑板的两端分别设置有滑块一和滑块二，其中滑块一用来安装电机二，这个电机二采用的是步进电机，这样可以保证水平方向的运动能够缓慢运动；

滑块二内部安装有丝杆螺母二，电机二水平方向安装有丝杆二，通过电机二、丝杆二和丝杆螺母二的转动，带动滑块三水平移动；

滑块二和滑块一下方设置有滑行杆一，这样可以利用滑行杆一保证滑块二能够水平滑动；

本实用新型在支架上设置有滑行杆二，滑行杆二上设置滑块三，其中滑块三用来固定夹持装置，这样就可以保证滑块三能够水平运动，其中滑块三内部设置有丝杆螺母二，通过电机二带动滑块三水平运动，这样就能实现夹持装置的水平运动；