[实用新型]基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统

权利要求书

1.基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，包括宽带光源(1)、光纤环行器(2)、样品臂(3)、光谱仪(4)和计算机(5)，其中，样品臂(3)包括第一光纤准直镜(6)、被测样品(7)、第一聚焦透镜(8)和平面镜(9)，光谱仪(4)包括第二光纤准直镜(10)、衍射光栅(11)、第二聚焦透镜(12)和探测器CCD(13)，其特征在于：进入样品臂(3)的探测光束一部分透过被测样品(7)被收集和分析，另一部分光束不透过被测样品(7)被收集和分析，探测器CCD(13)探测从被测样品(7)前、后表面反射回来的光信号，从平面镜(9)反射回来的经过以及不经过被测样品(7)的光信号。

2.根据权利要求1所述的基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，其特征在于：所述宽带光源(1)与光纤环行器(2)的第一端口相连，光纤环行器(2)的第二端口与样品臂(3)中的第一光纤准直镜(6)相连接；样品臂(3)中的第一光纤准直镜(6)和第一聚焦透镜(8)放置在平面镜(9)的前侧，被测样品(7)放置在第一光纤准直镜(6)与第一聚焦透镜(8)之间，且只允许一部分的光束透过被测样品(7)；光纤环行器(2)的第三端口与光谱仪(4)连接，从环行器(2)的第三端口出射的光束分别经过第二光纤准直镜(10)，衍射光栅(11)、第二聚焦透镜(12)，聚焦在探测器CCD(13)上，光谱仪(4)中的探测器CCD(13)与计算机(5)连接，计算机(5)进行数据处理。

3.根据权利要求1所述的基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，其特征在于：宽带光源(1)发出的光进入光纤环行器(2)的第一端口，经光纤环行器(2)第二端口进入样品臂(3)，光束经第一光纤准直镜(6)扩散成宽光束，其中一部分光透过被测样品(7)投射到第一聚焦透镜上(8)，经第一聚焦透镜(8)聚焦到平面镜(9)上，经平面镜(9)反射的和经被测样品(7)前、后表面反射的光束沿原路返回至光纤环行器(2)第二端口，并从光纤环行器(2)第三端口导入光谱仪(4)。

4.根据权利要求3所述的基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，其特征在于：进入样品臂(3)的另一部分没有透过被测样品(7)光束经第一光纤准直镜(6)扩束后经第一聚焦透镜(8)聚焦在平面镜(9)上，经平面镜(9)反射后沿原路返回至光纤环行器(2)第二端口，并从光纤环行器(2)第三端口导入光谱仪(4)；此时，从被测样品(7)前、后表面返回的两光束发生干涉，产生一组干涉信号，以及从平面镜(9)反射回的、经过被测样品(7)与不经过被测样品(7)的光束发生干涉，产生另一组干涉信号，以上两组干涉信号包含被测样品(7)厚度与折射率的信息，两组干涉信号被探测器CCD(13)探测到后传入计算机(5)通过傅里叶变换数据处理同时得到被测样品厚度与折射率的信息。