[实用新型]一种硅氧化合物的制造设备

权利要求书

1.一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述设备具有至少一个罐体(1)，所述罐体(1)至少一端设有开口(2)，所述罐体(1)包括反应部(3)和收集部(4)，所述反应部(3)用于置入原料(5)，所述收集部(4)用于置入收集器(6)，所述收集器(6)置于罐体(1)的开口端，所述反应部(3)远离罐体(1)的开口端，所述反应部(3)设置于加热炉(7)内，所述收集部(4)和开口(2)均设置于所述加热炉(7)外，所述罐体(1)通过接口(8)抽真空，所述罐体(1)通过罐盖(9)打开或封闭开口(2)。

2.如权利要求1所述的一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述收集部(4)上设有冷却装置(10)。

3.如权利要求1所述的一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述加热炉(7)连通空气。

4.如权利要求3所述的一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述加热炉(7)采用电加热或燃烧加热。

5.如权利要求1所述的一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述收集器(6)为至少一端开口的筒状结构。

6.如权利要求5所述的一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述收集器(6)具有锥度，所述收集器(6)的小端朝向罐盖(9)。

7.如权利要求1至6任一所述的一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述接口(8)设于收集部(4)。

8.如权利要求2所述的一种硅氧化合物的制造设备，其特征在于，所述冷却装置(10)包括套设于所述收集部(4)的冷却套(11)，通过冷却介质循环冷却。