[实用新型]金刚石线切割硅片冷却液回收系统有效
申请号: | 201520488983.8 | 申请日: | 2015-07-08 |
公开(公告)号: | CN204792698U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 杜雪冬;王岩;谷守伟;赵越;范猛;崔伟;王景然;李帅;侯建明;张磊;李晓峰;刘波;李建弘;郝勇;刘瑞华 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/301 | 分类号: | H01L21/301;B28D7/02;B28D5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 切割 硅片 冷却液 回收 系统 | ||
技术领域:
本实用新型涉一种冷却液回收系统,特别是涉及一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统。
背景技术
目前,太阳能硅片金刚线切割冷却系统采用的冷却液为纯水与浓缩冷却剂按一定比例配比而成,此冷却循环系统一次配液为200-400L,通常切割一刀进行更换一次。在切割过程中,金刚石线表面颗粒对硅棒进行研磨,产生的热量由冷却液带走,硅粉悬浮在冷却液中,这种不稳定的悬浮液极易沉淀或在设备表面板结,并且随着切割时间的增加,冷却液中硅粉浓度不断上升,通常切割一刀后,冷却液中硅粉含量高达5-8%。当冷却液中硅粉含量大于2%后,硅粉极易沉淀,对设备、冷却液管道及过滤系统易造成堵塞。
实用新型内容:
本实用新型的目的在于提供一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统。
本实用新型由如下技术方案实施:金刚石线切割硅片冷却液回收系统,其包括太阳能硅片切割设备、冷却液供给泵、冷却液回收泵、冷却液桶和单晶原料仓,所述冷却液桶的供液口与所述冷却液供给泵的进口连接,所述冷却液供给泵的出口与所述太阳能硅片切割设备的冷却液进口连接,所述太阳能硅片切割设备的冷却液出口与所述冷却液回收泵的进口连接,所述冷却液回收泵的出口与所述冷却液桶的回液口连接,其还包括有废液收集池、过滤装置、调配箱、硅粉收集箱,所述冷却液桶上还设有溢流出口和补液口,所述溢流出口与所述废液收集池的进口连接,所述废液收集池的出口与所述过滤装置的进口连接,所述过滤装置的冷却液出口与所述调配箱的进口连接,所述调配箱的出口与所述补液口连接,所述过滤装置的硅粉出口与所述硅粉收集箱的进口连接,所述硅粉收集箱的出口与所述单晶原料仓的进料口连接。
所述过滤装置包括压滤机和精滤器,所述废液收集池的出口与所述压滤机的进口连接,所述压滤机的冷却液出口与所述精滤器的进口连接,所述精滤器的出口与所述调配箱的进口连接,所述压滤机的硅粉出口与所述硅粉收集箱的进口连接。
所述补液口处设有电磁阀和流量计,所述电磁阀与所述流量计电连接。
本实用新型的优点:通过本实用新型系统,可以实现冷却液的循环利用,同时,冷却液时时被过滤,降低冷却液中硅粉含量,提高冷却液的质量,因此,有效的改善切割环境,提升切割硅片的合格率;可有效回收利用冷却水及浓缩冷却液,降低排污量;可减少冷却水及浓缩冷却剂的使用量,降低生产成本;由于冷却液更换无需人工操作,可降低员工劳动强度。
附图说明:
图1为本实用新型的整体结构示意图。
太阳能硅片切割设备1、冷却液供给泵2、冷却液回收泵3、冷却液桶4、单晶原料仓5、废液收集池6、过滤装置7、调配箱8、硅粉收集箱9、溢流出口10、补液口11、压滤机12、精滤器13、电磁阀14、流量计15、冷却液净化泵16。
具体实施例:
如图1所示,金刚石线切割硅片冷却液回收系统,其包括太阳能硅片切割设备1、冷却液供给泵2、冷却液回收泵3、冷却液桶4和单晶原料仓5,冷却液桶4的供液口与冷却液供给泵2的进口连接,冷却液供给泵2的出口与太阳能硅片切割设备1的冷却液进口连接,太阳能硅片切割设备1的冷却液出口与冷却液回收泵3的进口连接,冷却液回收泵3的出口与冷却液桶4的回液口连接,冷却液回收泵3的水流可以使冷却液桶4中的冷却液旋转形成涡流,进而使冷却液能充分混合;其还包括有废液收集池6、过滤装置7、调配箱8、硅粉收集箱9,冷却液桶4上还设有溢流出口10和补液口11,溢流出口10与废液收集池6的进口连接,废液收集池6的出口通过冷却液净化泵16与过滤装置7的进口连接,过滤装置7的冷却液出口与调配箱8的进口连接,调配箱8的出口与补液口11连接,补液口11处设有电磁阀14和流量计15,电磁阀14与流量计15电连接,通过流量计15控制电磁阀14的启闭;过滤装置7的硅粉出口与硅粉收集箱9的进口连接,硅粉收集箱9的出口与单晶原料仓5的进料口连接;过滤装置7包括压滤机12和精滤器13,废液收集池6的出口与压滤机12的进口连接,压滤机12的冷却液出口与精滤器13的进口连接,精滤器13的出口与调配箱8的进口连接,压滤机12的硅粉出口与硅粉收集箱9的进口连接。
工作原理:冷却液桶4中的冷却液由冷却液供给泵2泵入太阳能硅片切割设备1,冷却液回收泵3将太阳能硅片切割设备1使用过的旧冷却液泵入到冷却液桶4内部,冷却液桶4中的冷却液在冷却液回收泵3的作用下形成涡流,进而使旧冷却液与冷却液桶4内部的冷却液充分混合;随着旧冷却液的加入,冷却液桶4内充分混合后的冷却液由溢流出口10进行溢流,以保证冷却液桶4内的液面保持不变;溢流后的冷却液进入废液收集池6后由冷却液净化泵16泵入压滤机12,由压滤机12滤出的硅粉先进入硅粉收集箱9后再进入单晶原料仓5,硅粉收集箱9的硅粉可通过提纯制成硅原料重新利用;经压滤机12过滤的冷却液进入精滤器13进行再次过滤后进入调配箱8;调配箱8内的冷却液经补液口11进入冷却液桶4进行重复使用,新补入的冷却液在冷却液回收泵3的作用下可与冷却液桶4中的冷却液充分混合。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古中环光伏材料有限公司,未经内蒙古中环光伏材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520488983.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:湿式蚀刻机机台用浸泡槽结构
- 下一篇:水冷型长弧氙灯
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造