[实用新型]一种气体注入装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体混合技术领域，特别是涉及一种气体注入装置。此外，本实用新型还涉及一种包括上述气体注入装置的电加热设备。

背景技术

在半导体行业中，排放的废气中含有大量难处理且限制排放的温室气体，如四氟化碳气体。目前，常用的废气处理方式有燃料燃烧，等离子，高温催化剂等，其中，燃料燃烧方式运用最为广泛。但是，燃料燃烧方式不仅耗能较大，还会产生具有二次污染的氮氧化合物，并且在处理过程中还需要处理其它自燃气体，处理时助燃空气配比过量还会产生颗粒物堵塞现象。

现有技术中，同行业中还采用电加热方式进行废气处理，在需要处理的气体进入电加热腔前直接喷入还原气体，再进入电加热高温区反应。但这种方式中废气与还原气体混合不佳，混合区域范围不大，并且在能耗较大，电加热处理方式只能处理部分温室气体，处理率较低，减排节能率较低。

综上所述，如何有效地解决电加热方式处理废气时效率较低的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种气体注入装置，有效地解决了电加热方式处理废气时效率较低的问题；本实用新型的另一目的是提供一种包括上述气体注入装置的电加热设备。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种气体注入装置，包括通过传动轴安装于腔体内的旋叶，以及驱动所述旋叶转动的驱动装置，所述旋叶具有若干个叶片，所述腔体具有供第一气体进入的第一进气口和供第二气体进入的第二进气口，所述旋叶转动能够搅拌所述第一气体和所述第二气体混合均匀。

优选地，所述腔体具有一个所述第一进气口和若干个所述第二进气口，每个所述叶片处均开设有与所述第一进气口连通的第一出气口，一个所述第二进气口与一个第二出气口连通。

优选地，每个所述叶片上具有多个所述第一出气口。

优选地，还包括安装于所述腔体的顶盖处的用于安装所述旋叶的法兰盘，所述法兰盘上开设有通孔，与所述第一进气口连通的第一进气管和与所述第二进气口连通的第二进气管均穿过所述通孔进入所述腔体，所述第一进气管设置于所述法兰盘的中心部，所述第二进气管设置于所述法兰盘的圆周部。

优选地，所述第一进气管和所述第二进气管固定于所述法兰盘上，所述第二进气管的末端设置于所述旋叶的上方，所述第一进气管通过第三进气管与所述第一出气口连通，所述第三进气管与所述第一进气管转动连接且能够随所述旋叶转动。

优选地，所述第一出气口连通有向上翘起的出气管。

优选地，所述驱动装置具体为驱动马达，所述驱动马达的驱动轴上安装有第一齿轮，所述传动轴上安装有第二齿轮，所述驱动轴穿过所述法兰盘的通孔，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。

优选地，所述旋叶为中空旋叶，所述中空旋叶的中心轴处具有通气口，所述第一出气口开设于所述叶片的片体上，所述第一进气口通过所述通气口与所述第一出气口连通。

优选地，所述旋叶为实体旋叶，所述实体旋叶的中心轴处设置有与所述第一进气口连通的总通气管，所述叶片上设置有与所述总通气管连通的分通气管，所述第一出气口开设于所述分通气管上。

本实用新型还提供一种电加热设备，包括腔体以及安装于所述腔体上的电加热棒和安装于所述腔体内的气体注入装置，所述气体注入装置具体为上述任一项所述的气体注入装置。

本实用新型所提供的气体注入装置，包括旋叶以及驱动装置，旋叶通过传动轴安装于腔体内，具体地说，腔体可以为电加热设备的电加热腔体，也可以为其它设备的腔体，驱动装置能够驱动旋叶转动，旋叶具有若干个叶片，叶片的数量可以根据具体使用情况的不同自行设定，比如设置五个叶片，每个叶片可以均匀分布，此时旋叶转动较平稳。腔体具有第一进气口和第二进气口，第一气体从第一进气口进入腔体，第二气体从第二进气口进入腔体，比如，第一气体为还原气体，第二气体为废气。驱动旋叶转动，废气和还原气体均进入腔体内，在进入电加热高温区前，旋叶转动能够搅拌第一气体和第二气体混合均匀。

此气体注入装置可使废气进入腔体后，且进入电加热高温区前与还原气体混合，通过旋叶的搅拌可使废气和还原气体充分混合，两者混合较均匀。混合均匀的气体再进入电加热高温区反应，可在高温的促进下使废气与还原剂得到较好反应，同时极难处理的温室气体也能处理，废气的处理效率得到有效提高，维护频次降低，节约大量能耗，节能减排率提高，使用成本降低。