[实用新型]气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置

权利要求书

1.一种气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，该装置在密闭真空室中设置反应腔，反应腔顶端设有循环通风口，循环通风口的下方反应腔中并排设置加热管组；循环进风口通过管路与真空室的侧面连通，形成外循环风道。

2.根据权利要求1所述的气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，反应腔内加热管组的下方设有放置硅片衬底的衬底盘。

3.根据权利要求2所述的气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，衬底盘上设有热电偶。

4.根据权利要求1所述的气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，真空室的顶部设有进气口，真空室的底部设有抽气口。

5.根据权利要求1所述的气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，在所述外循环风道上设有风扇。

6.根据权利要求1所述的气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，加热管组为并排设置的不锈钢铠装加热管构成。

7.根据权利要求1所述的气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，加热管组的接线端接直流电源，直流电源设置于真空室外侧。