[实用新型]电浆设备之臭氧侦测装置

说明书

【技术领域】

本实用新型提供一种电浆设备之臭氧侦测装置，尤指一种能侦测玻璃基板上的臭氧浓度是否过高或过低，以进一步发出警报声响，供用户实时知悉的电浆设备之臭氧侦测装置。

【背景技术】

电浆设备是一种用于清洁玻璃基板上的有机物的设备，该电浆设备主要由一输送机构、一排气机构及一控制器所组成，其中，该输送机构用于输送一玻璃基板；该排气机构搭接于该输送机构上方，使该玻璃基板通过该排气机构下方时，该排气机构可进一步吸出附着于该玻璃基板上的有机物。但是，电浆设备清洁玻璃基板上的有机物污染时，必须注入氮气(N₂)与干燥空气(CDA)，于化学反应过程中会产生二氧化碳(CO₂)及臭氧(O₃)，若臭氧浓度过高或过低，该玻璃基板的不良率亦相对提高，因此业者必须不定时额外使用仪器加以检测，无法有效实时监控电浆设备的制程能力，极为不便，显然有待改良。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是在提供一种能侦测玻璃基板周遭臭氧浓度是否过高或过低，以进一步发出警报声响，供用户实时知悉的侦测装置。

为达成上述目的，本实用新型一种电浆设备之臭氧侦测装置，该电浆设备是由一输送机构、及一搭接于该输送机构上、下方的排气机构所组成；其中，该输送机构用于输送一玻璃基板，该玻璃基板通过前述排气机构时，由该排气机构进一步吸出附着于该玻璃基板上的有机物，其主要特征是在该电浆设备的排气机构上至少设有一臭氧侦测器，用于侦测前述玻璃基板周遭臭氧浓度，该排气机构与一输入单元连接，以输入臭氧浓度的设定值及显示臭氧浓度；使该玻璃基板通过该排气机构时，以吸出附着于该玻璃基板上的有机物时，若臭氧浓度超出或低于设定值，该输入单元即发出警报声响，同时令电浆设备停止运转，待用户前往排除臭氧浓度过高或过低的情况后，用户再重新启动电浆设备，由此提高玻璃基板的成品合格率。

上述的电浆设备之臭氧侦测装置，其中，该排气机构由一对应的上、下集气罩、一上、下吸气管、及一排气管所组成，该上集气罩跨接于前述输送机构上方，该下集气罩跨接于前述输送机构下方，该上吸气管与该上集气罩连通，该下吸气管与该下集气罩连通，该排气管连接该上、下吸气管，用于排气；前述臭氧侦测器具有四个，个别的一端分别设于该上、下吸气管中，另一端分别与前述输入单元电性连接，以侦测该上、下吸气管内的臭氧浓度。

上述的电浆设备之臭氧侦测装置，其中，前述输入单元能控制前述输送机构作动。

上述的电浆设备之臭氧侦测装置，其中，前述有机物为碳元素。

上述的电浆设备之臭氧侦测装置，其中，前述输入单元能与一电子设备无线电性连接，以达到远距监控的目的。

上述的电浆设备之臭氧侦测装置，其中，前述上、下集气罩分别设有一臭氧侦测器，该两个臭氧侦测器的一端分别伸入该上、下集气罩中，另一端分别与前述输入单元电性连接，以侦测该上、下集气罩内的臭氧浓度。

本实用新型优点及功效在于：侦测玻璃基板周遭臭氧浓度是否过高或过低，以进一步发出警报声响，供用户实时知悉。

【附图说明】

图1所示是本实用新型实施例的立体图。

图2所示是本实用新型实施例的前视图。

图3所示是本实用新型实施例的臭氧侦测器放大立体图。

图4所示是本实用新型实施例的使用动作流程图。

图中标号说明如下：

电浆设备1底柱10输送机构11马达110

排气机构12上集气罩120下集气罩121上吸气管122

下吸气管123排气管124臭氧侦测器125输入单元13

玻璃基板2

【具体实施方式】

请同时参阅图1-3所示，本实用新型的电浆设备1包含：

一相对应的底柱10，直设并固接于地面上；

一输送机构11，搭接于该底柱10上，设有一马达110，用于带动该输送机构11运转，以输送一玻璃基板2；