[实用新型]多真空度可调真空机组

说明书

技术领域

本实用新型涉及抽真空设备，尤其涉及一种多真空度可调真空机组。

背景技术

有些大型电子生产企业，生产设备台数很多(少的几十台，多的几百台、过千台)，不同的设备有不同的真空度需求，有些设备要求真空度稳定在一个值附近，目前，为了满足不同真空度要求，一般采用配置如下真空机组：

方式一：一台生产设备配一台(或多台)小真空泵，真空管路上配手动阀门和真空表，工人目测真空度，手动调节阀门的开度大小，将真空度调整到需要的值。缺点：

(a)手动调好真空度以后，真空值会经常变化，需经常调整。如果不及时调整，会影响产品品质；如果设备数量多，调整的工作量就很大；

(b)单台设备生产负荷变化(这是生产中常有的事)，真空度也会变化，需重新手动调整真空度，调整工作量很大；

(c)车间内真空泵数量多，噪音叠加起来，对车间舒适度有影响；

(d)真空泵装在车间内，发热量会消耗中央空调的制冷量；

(e)需要维护人员进入到车间内维护真空泵，如果是洁净厂房，非生产人员的进出，对洁净度有影响；

(f)真空泵排气中的粉尘或油雾对车间有污染；

(g)耗材多。

方式二：一套真空系统，连接一套管路到每台生产设备，将系统真空度抽至较高数值，每台生产设备根据本设备要求，调整手动阀门的开度，将真空度调整到需要的值，并经常检查数值的偏离情况并及时调整。缺点：

(a)手动调好真空度以后，真空值会经常变化，需经常调整。如果不及时调整，会影响产品品质；如果设备数量多，调整的工作量就很大；

(b)单台设备生产负荷变化(这是生产中常有的事)，真空度也会变化，需重新手动调整真空度，调整工作量很大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足而提供一种多真空度可调真空机组。

本实用新型解决现有技术问题所采用的技术方案是：一种多真空度可调真空机组，包括：

真空泵，所述真空泵具有进气口和出气口；

至少两个真空罐，所述至少两个真空罐中的每个具有一吸气口和一出气口，所述至少两个真空罐中的每个的吸气口用于连接外部的一台待抽真空设备；所述至少两个真空罐中的每个的出气口通过一连接管与所述真空泵的进气口相连，所述连接管中的至少一个上设有真空调节阀；

真空传感器，所述至少两个真空罐上分别设置一所述真空传感器；

控制装置，所述控制装置与所述真空泵、真空调节阀及真空传感器信号连接，用于将所述真空传感器检测的信号分别对应地与所述至少两个真空罐的设定真空度进行对比并输出控制信号，以调节所述真空泵的速度和/或真空调节阀的开度，使得所述至少两个真空罐保持在不同的设定真空度。

优选地，所述真空罐为三个，三个所述真空罐中的一个真空罐的预设真空度大于另外两个真空罐的预设真空度，且所述另外两个真空罐对应的连接管上分别设置一所述真空调节阀。

优选地，所述真空泵为多个，多个所述真空泵的进气口均与所述至少两个真空罐相连。

优选地，所述真空泵为水环真空泵，所述水环真空泵具有所述进气口、所述出气口及一进水口；所述水环真空泵的出气口连接至一气液分离器的进气口，所述气液分离器的排水口通过一换热器连接至所述水环真空泵的进水口。

优选地，所述换热器的冷却水入口连接一冷却水进水管，所述换热器的冷却水出口连接一冷却水出水管。

优选地，每个所述连接管与所述水环真空泵的进气口之间设有依次串联的电磁阀及单向阀，所述单向阀由所述真空罐的出气口通向所述水环真空泵的进气口方向导通。

优选地，三个所述真空罐对应的连接管上分别设有第一球阀。

优选地，所述另外两个真空罐对应的连接管分别并联一辅助管，所述辅助管上设有第二球阀。

优选地，所述气液分离器连接一所述气液分离器补水的补水管。

优选地，所述气液分离器连接一溢流管。